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科研机构
上海微系统与信息技... [12]
内容类型
期刊论文 [12]
发表日期
2009 [1]
2005 [1]
2004 [2]
2003 [2]
2001 [2]
2000 [1]
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学科主题
Physics, ... [12]
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学科主题:Physics, Applied
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The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903
Ou, X
;
Kogler, R
;
Mucklich, A
;
Skorupa, W
;
Moller, W
;
Wang, X
;
Vines, L
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SOI MOSFETS
SILICON
SI
HELIUM
SEPARATION
DEFECTS
TEMPERATURE
HYDROGEN
BUBBLES
Thermal stability of diamondlike carbon buried layer fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition in silicon on insulator
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2005, 卷号: 98, 期号: 5, 页码: 53502-53502
Di, ZF
;
Huang, AP
;
Fu, RKY
;
Chu, PK
;
Shao, L
;
Hochbauer, T
;
Nastasi, M
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Shen, QW
;
Luo, ST
;
Song, ZT
;
Lin, CG
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/24
DLC FILMS
SPECTROSCOPY
Formation of silicon-on-diamond by direct bonding of plasma-synthesized diamond-like carbon to silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 85, 期号: 13, 页码: 2532-2534
Zhu, M
;
Chu, PK
;
Shi, XJ
;
Wong, M
;
Liu, WL
;
Lin, CL
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/24
IMMERSION ION-IMPLANTATION
AMORPHOUS-CARBON
TECHNOLOGY
FILMS
Comparative study of SOI/Si hybrid substrates fabricated using high-dose and low-dose oxygen implantation
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 37, 期号: 13, 页码: 1732-1735
Dong, YM
;
Chen, M
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wang, X
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE LAYERS
ION-IMPLANTATION
SILICON
OXIDATION
Oxygen profile engineering in silicon by germanium addition and high-temperature annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 2, 页码: 305-307
An, ZH
;
Chu, PK
;
Zhang, M
;
Men, CL
;
Lin, CL
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SI/SIO2 SUPERLATTICE
SI
Linear and third-order nonlinear optical absorption of amorphous Ge nanoclusters embedded in Al2O3 matrix synthesized by electron-beam coevaporation
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 19, 页码: 3162-3164
Wan, Q
;
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Liu, WL
;
Yang, G
;
Wang, TH
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
Z-SCAN DETERMINATION
ION-IMPLANTATION
VISIBLE PHOTOLUMINESCENCE
SI NANOCRYSTALS
SILICA MATRIX
FILMS
LUMINESCENCE
Damage in hydrogen plasma implanted silicon
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2001, 卷号: 90, 期号: 4, 页码: 1735-1739
Wang, LW
;
Fu, RKY
;
Zeng, X
;
Chu, PK
;
Cheung, WY
;
Wong, SP
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
IMMERSION ION-IMPLANTATION
Intense blue-light emission from carbon-plasma-implanted porous silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2001, 卷号: 78, 期号: 1, 页码: 37-39
Liu, WL
;
Zhang, M
;
Lin, CL
;
Zeng, ZM
;
Wang, LW
;
Chu, PK
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
Investigation of damage behaviour and isolation effect of n-type 6H-SiC by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1551-1555
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
ION-IMPLANTATION
SILICON-CARBIDE
AMORPHIZATION
LAYERS
Gettering of Cu by microcavities in bonded/ion-cut silicon-on-insulator and separation by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 4214-4219
Zhang, MO
;
Zeng, XC
;
Chu, PK
;
Scholz, R
;
Lin, CL
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
HYDROGEN
CAVITIES
COPPER
NICKEL
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