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The radiation hardness of the nitrogen-fluorine implanted buried oxide layer in silicon-on-insulator materials against higher total dose irradiation.
期刊论文
SCIENCE CHINA Materials, 2016
作者:
Liu ZL(刘忠立)
;
Han ZS(韩郑生)
;
Luo JJ(罗家俊)
;
Zheng ZS(郑中山)
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/05/08
Surface polarization enhancement: high catalytic performance of Cu/CuOx/C nanocomposites derived from Cu-BTC for CO oxidation
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A, 2016, 卷号: 4, 期号: 21, 页码: 8412-8420
作者:
Zhang, Ruirui
;
Hu, Lin
;
Bao, Shouxin
;
Li, Ran
;
Gao, Lei
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2017/11/16
Fabrication of a pendulous resonant micro-machined biosensor for direct liquid detection
会议论文
作者:
Huang, Gang
;
Li, Yuxin
;
Qian, Li
;
Li, Qi
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
Buried oxide layers
Device fabrications
Differential output
Energy compensation
Plasma enhanced chemical vapor depositions (PE CVD)
Resonant paddle
SOI-MEMS
Torsional modes
Mesoporous zirconia-modified clays supported nickel catalysts for CO and CO2 methanation
期刊论文
international journal of hydrogen energy, 2014, 卷号: 39, 期号: 33, 页码: 18894-18907
作者:
Lu, Huailiang
;
Yang, Xuzhuang
;
Gao, Guanjun
;
Wang, Kebing
;
Shi, Quanquan
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2015/11/17
CO methanation
CO2 methanation
SNG
Zirconia
Clays
Characterization and analysis of silicon on insulator fabricated by separation by implanted oxygen layer transfer
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2010, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 163-168
Wei,X
;
Wu,AM
;
Wang,X
;
Li,XY
;
Ye,F
;
Chen,J
;
Chen,M
;
Zhang,B
;
Li,CL
;
Zhang,M
;
Wang,X
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
LOW-DOSE SEPARATION
PSEUDO-MOS TRANSISTOR
BURIED OXIDE LAYERS
THERMAL-OXIDATION
WAFERS
SOI
FILM
SOICMOS
Investigation on Silicon on Insulator Fabricated by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 1, 页码: H81-H85
Wei, X
;
Wu, AM
;
Wang, X
;
Li, XY
;
Ye, F
;
Chen, J
;
Chen, M
;
Zhang, B
;
Lin, CL
;
Zhang, M
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/24
LOW-DOSE SEPARATION
BURIED-OXIDE
THERMAL-OXIDATION
FILM
SOI
WAFERS
Influence of nitrogen dose on the charge density of nitrogen-implanted buried oxide in SOI wafers
期刊论文
journal of semiconductors, 2010, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 99-102
Zheng Zhongshan
;
Liu Zhongli
;
Li Ning
;
Li Guohua
;
Zhang Enxia
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/08/16
Oxygen gettering in Si by He ion implantation-induced cavity layer
期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2009, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 202-207
Ou, X
;
Zhang, B
;
Wu, AM
;
Zhang, M
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE LAYERS
SILICON
DISLOCATIONS
GENERATION
VOIDS
AU
The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903
Ou, X
;
Kogler, R
;
Mucklich, A
;
Skorupa, W
;
Moller, W
;
Wang, X
;
Vines, L
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SOI MOSFETS
SILICON
SI
HELIUM
SEPARATION
DEFECTS
TEMPERATURE
HYDROGEN
BUBBLES
Oxygen gettering in Si by He ion implantation-induced cavity layer
期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2009, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 202-207
Ou, X
;
Zhang, B(重点实验室)
;
Wu, AM
;
Zhang, M(重点实验室)
;
Wang, X(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/05/10
BURIED OXIDE LAYERS
SILICON
DISLOCATIONS
GENERATION
VOIDS
AU
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