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科研机构
上海微系统与信息技... [12]
内容类型
期刊论文 [12]
发表日期
2009 [1]
2004 [2]
2003 [2]
2001 [2]
2000 [1]
1999 [3]
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学科主题
Physics, ... [12]
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学科主题:Physics, Applied
专题:上海微系统与信息技术研究所
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The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903
Ou, X
;
Kogler, R
;
Mucklich, A
;
Skorupa, W
;
Moller, W
;
Wang, X
;
Vines, L
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SOI MOSFETS
SILICON
SI
HELIUM
SEPARATION
DEFECTS
TEMPERATURE
HYDROGEN
BUBBLES
Formation of silicon-on-diamond by direct bonding of plasma-synthesized diamond-like carbon to silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 85, 期号: 13, 页码: 2532-2534
Zhu, M
;
Chu, PK
;
Shi, XJ
;
Wong, M
;
Liu, WL
;
Lin, CL
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/24
IMMERSION ION-IMPLANTATION
AMORPHOUS-CARBON
TECHNOLOGY
FILMS
Comparative study of SOI/Si hybrid substrates fabricated using high-dose and low-dose oxygen implantation
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 37, 期号: 13, 页码: 1732-1735
Dong, YM
;
Chen, M
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wang, X
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE LAYERS
ION-IMPLANTATION
SILICON
OXIDATION
Oxygen profile engineering in silicon by germanium addition and high-temperature annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 2, 页码: 305-307
An, ZH
;
Chu, PK
;
Zhang, M
;
Men, CL
;
Lin, CL
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SI/SIO2 SUPERLATTICE
SI
Linear and third-order nonlinear optical absorption of amorphous Ge nanoclusters embedded in Al2O3 matrix synthesized by electron-beam coevaporation
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 19, 页码: 3162-3164
Wan, Q
;
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Liu, WL
;
Yang, G
;
Wang, TH
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
Z-SCAN DETERMINATION
ION-IMPLANTATION
VISIBLE PHOTOLUMINESCENCE
SI NANOCRYSTALS
SILICA MATRIX
FILMS
LUMINESCENCE
Damage in hydrogen plasma implanted silicon
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2001, 卷号: 90, 期号: 4, 页码: 1735-1739
Wang, LW
;
Fu, RKY
;
Zeng, X
;
Chu, PK
;
Cheung, WY
;
Wong, SP
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
IMMERSION ION-IMPLANTATION
Intense blue-light emission from carbon-plasma-implanted porous silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2001, 卷号: 78, 期号: 1, 页码: 37-39
Liu, WL
;
Zhang, M
;
Lin, CL
;
Zeng, ZM
;
Wang, LW
;
Chu, PK
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
Investigation of damage behaviour and isolation effect of n-type 6H-SiC by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1551-1555
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
ION-IMPLANTATION
SILICON-CARBIDE
AMORPHIZATION
LAYERS
Gettering of Cu by microcavities in bonded/ion-cut silicon-on-insulator and separation by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 4214-4219
Zhang, MO
;
Zeng, XC
;
Chu, PK
;
Scholz, R
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
HYDROGEN
CAVITIES
COPPER
NICKEL
Short-wavelength photoluminescence from silicon and nitrogen coimplanted SiO2 films
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1999, 卷号: 74, 期号: 10, 页码: 1403-1405
Zhao, J
;
Mao, DS
;
Lin, ZX
;
Ding, XZ
;
Jiang, BY
;
Yu, YH
;
Liu, XH
;
Yang, GQ
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/25
VISIBLE PHOTOLUMINESCENCE
ROOM-TEMPERATURE
ION-IMPLANTATION
LUMINESCENCE
LAYERS
GLASS
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