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一种碳化硅MOSFET沟道自对准工艺实现方法 专利
专利号: CN201510564659.4, 申请日期: 2018-07-20, 公开日期: 2015-11-18
作者:  彭朝阳;  刘新宇;  刘国友;  李诚瞻;  汤益丹
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碳化硅MOSFET器件及其制作方法 专利
专利号: CN201510574417.3, 申请日期: 2018-03-23, 公开日期: 2015-12-16
作者:  李诚瞻;  汤益丹;  申华军;  白云;  周静涛
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一种氧化硅的各向异性湿法腐蚀工艺中控制倾角的方法 专利
专利号: CN201510702260.8, 申请日期: 2018-03-06, 公开日期: 2016-01-06
作者:  汤益丹;  白云;  李诚瞻;  刘新宇;  刘国友
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一种插入层复合结构及其制作方法 专利
专利号: CN201410671215.6, 申请日期: 2017-07-18, 公开日期: 2015-03-04
作者:  白云;  申华军;  汤益丹;  刘新宇;  杨成樾
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碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 专利
专利号: CN201410643283.1, 申请日期: 2017-06-20, 公开日期: 2015-03-11
作者:  汤益丹;  白云;  申华军;  霍瑞彬;  刘新宇
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一种场限环结终端结构的优化设计方法 专利
专利号: CN201410671594.9, 申请日期: 2017-05-17, 公开日期: 2015-03-11
作者:  刘新宇;  白云;  申华军;  汤益丹;  杨成樾
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一种介孔择型分子筛及其制备方法 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-11-07
作者:  申宝剑;  余倩倩;  郭巧霞;  王艳丹;  申波俊
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一种在SiC衬底背面制备欧姆接触的方法 专利
专利号: CN201310589191.5, 申请日期: 2016-08-17, 公开日期: 2014-02-12
作者:  杨谦;  韩林超;  申华军;  白云;  汤益丹
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一种SiC肖特基二极管及其制作方法 专利
专利号: CN201310580966.2, 申请日期: 2016-08-17, 公开日期: 2014-02-12
作者:  汤益丹;  刘新宇;  许恒宇;  蒋浩杰;  赵玉印
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一种精确控制碳化硅高温离子注入掩模陡直性的方法 专利
专利号: CN201310570937.8, 申请日期: 2016-04-20, 公开日期: 2014-02-05
作者:  白云;  刘新宇;  汤益丹;  许恒宇;  蒋浩杰
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