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| Study of the perpendicular self-assembly of a novel high-chi block copolymer without any neutral layer on a silicon substrate 期刊论文 2019, 卷号: 9, 期号: 7, 页码: 3828-3837 作者: Zhang, Baolin; Liu, Weichen; Meng, Lingkuan; Zhang, Zhengping; Zhang, Libin 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2019/12/09 |
| 一种堆叠式围栅纳米线器件假栅电极制备方法 专利 专利号: CN201610033601.1, 申请日期: 2018-11-27, 公开日期: 2016-06-15 作者: 孟令款; 徐秋霞; 闫江 收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2019/03/26 |
| 堆叠纳米线制造方法 专利 专利号: CN201610080648.3, 申请日期: 2018-08-10, 公开日期: 2016-06-29 作者: 孟令款; 闫江; 徐秋霞 收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2019/03/22 |
| Influence of the hard masks profiles on formation of nanometer Si scalloped fins arrays 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2018 作者: Tongda Ma; Zhang QZ(张青竹); Hailing Tu; Yin HX(殷华湘); Feng Wei 收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2019/05/20 |
| 嵌段共聚物自组装制造纳米结构的方法 专利 专利号: CN201610066983.8, 申请日期: 2018-06-26, 公开日期: 2016-05-11 作者: 孟令款; 闫江 收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2019/03/21 |
| Novel GAA Si Nanowire p-MOSFETs With Excellent Short-Channel Effect Immunity via an Advanced Forming Process 期刊论文 IEEE Electron Device Letters, 2018 作者: Zhang QZ(张青竹); Yin HX(殷华湘); Meng LK(孟令款); Yao JX(姚佳欣); Li JJ(李俊杰) 收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2019/05/05 |
| 定向自组装模板转移方法 专利 专利号: CN201610067780.0, 申请日期: 2018-02-16, 公开日期: 2016-05-11 作者: 闫江; 孟令款 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2019/03/14 |
| 混合光学和电子束光刻方法 专利 专利号: CN201210353673.6, 申请日期: 2018-02-09, 公开日期: 2014-03-26 作者: 李春龙; 孟令款; 贺晓彬 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2019/03/14 |
| 一种硅深孔刻蚀方法 专利 专利号: CN201410571338.2, 申请日期: 2018-02-09, 公开日期: 2016-05-18 作者: 赵超; 李俊杰; 孟令款; 李春龙; 洪培真 收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2019/03/14 |
| Study of sigma-shaped source/drain recesses for embedded-SiGe pMOSFETs 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2017 作者: Zhu HL(朱慧珑); Xu QX(徐秋霞); Li JF(李俊峰); Zhao C(赵超); Henry Homayoun Radamson 收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2018/07/09 |