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自动化研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
专利 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2020 [1]
1965 [1]
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Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints
期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789
作者:
Jipeng Wang
;
Hesuan Hu
;
Chunrong Pan
;
Yuan Zhou
;
Liang Li
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提交时间:2021/03/11
Cluster tools
multiple wafer types
scheduling
semiconductor manufacturing
wafer fabrication
Manufacture of semiconductive bodies
专利
专利号: GB993822A, 申请日期: 1965-06-02, 公开日期: 1965-06-02
作者:
-
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提交时间:2019/12/24
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