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Controlling the triboelectric properties and tribological behavior of polyimide materials via plasma treatment
期刊论文
Nano Energy, 2022, 卷号: 102, 期号: -, 页码: 107691
作者:
Xiao Sun
;
Yongjian Liu
;
Ning Luo
;
Ying Liu
;
Yange Feng
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2023/01/09
Triboelectric properties
Tribological behavior
Plasma irradiation
Polyimide
Antistatic PI surface
Simulation of Discharge Characteristics for the Plasma Etching of Large Area SiO2 Substrates
期刊论文
JOURNAL OF RUSSIAN LASER RESEARCH, 2020, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 258-267
作者:
Zhang JW(张景文)
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2020/11/30
reactive ion etching
capacitive coupled discharge
fluid simulation
discharge parameter
large area SiO2 substrates
plasma radial uniformity
Simulation of Discharge Characteristics for the Plasma Etching of Large Area SiO2 Substrates
期刊论文
JOURNAL OF RUSSIAN LASER RESEARCH, 2020, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 258-267
作者:
Zhang, Jingwen
;
Fan, Bin
;
Li, Zhiwei
;
Gao, Guohan
;
Li, Bincheng
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2021/05/11
Reactive Ion Etching
Capacitive Coupled Discharge
Fluid Simulation
Discharge Parameter
Large Area Sio2 Substrates
Plasma Radial Uniformity
Influence of dry etching on the properties of SiO2 and HfO2 single layers
期刊论文
APPLIED OPTICS, 2020, 卷号: 59, 期号: 5, 页码: A128-A134
作者:
Xie, LY
;
Liu, HS
;
Zhao, J
;
Jiao, HF
;
Zhang, JL
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2021/09/06
THIN-FILMS
Highly accurate positioned, rapid figure correction by reactive ion etching for large aperture lightweight membrane optical elements
期刊论文
OSA Continuum, 2019, 卷号: 2, 期号: 12, 页码: 3350-3357
作者:
Li, Zhiwei
;
Shao, Junming
;
Luo, Qian
;
Lei, Boping
;
Gao, Guohan
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2021/05/06
Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2021/05/06
Polishing method for polyimide membranes based on reactive ion etching
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2019, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 302-308
作者:
Yang, Zheng
;
Jin, Zhi-Wei
;
Chen, Jian-Jun
;
Rao, Xian-Hua
;
Yin, Shao-Yun
收藏
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浏览/下载:0/0
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提交时间:2020/02/18
Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2020/11/15
Computer simulation
Electrodes
Gases
Heat transfer
Ions
Manufacture
Mass transfer
Pressure distribution
Reactive ion etching
Surface waves
Commercial software
Distribution profiles
Electrode surfaces
Etching uniformity
Fluent(Ansys)
Gas flow distribution
Heat transfer model
Plasma distribution
Gas Flow Simulation Research on Reaction Chamber of Reactive ion etching
会议论文
Chengdu, PEOPLES R CHINAChengdu, PEOPLES R CHINA, JUN 26-29, 2018JUN 26-29, 2018
作者:
Zhang Jingwen
;
Fan Bin
;
Li Zhiwei
;
Liu Xin
;
Li Bincheng
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2019/08/23
reactive ion etching
Fluent(Ansys)
numerical simulation
pressure distribution
Directional emission of plastic luminescent films using photonic crystals fabricated by soft-X-ray interference lithography and reactive ion etching
期刊论文
SCIENTIFIC REPORTS, 2018, 卷号: 8, 页码: -
作者:
Wu, Q
;
Liu, B
;
Zhu, ZC
;
Gu, M
;
Chen, H
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2018/09/06
Light-emitting-diodes
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Nanocrystals
Fluorescence
Scintillator
Enhancement
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Surface
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