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	Noise Analysis and Performance Improvement of a MEMS Fabry-Perot Seismic Accelerometer 期刊论文 Ieee Sensors Journal, 2022, 卷号: 22, 期号: 1, 页码: 365-372 作者: M. H. Zhao; Y. H. Qi; X. P. Zhang; B. Li; Z. D. Jiang and X. Y. Wei 收藏 \| 浏览/下载：0/0 \| 提交时间：2023/06/14
	A MEMS based Fabry-Perot accelerometer with high resolution 期刊论文 Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems, 2020, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 1961-1969 作者: M. H. Zhao,K. L. Jiang,H. W. Bai,H. R. Wang and X. Y. Wei 收藏 \| 浏览/下载：2/0 \| 提交时间：2021/07/06
	The Frequency-Domain Fusion Virtual Multi-Loop Feedback Control System with Measured Disturbance Feedforward Method in Telescopes 期刊论文 ELECTRONICS, 2019, 卷号: 8, 期号: 10 作者: Mao, Yao; Deng, Jiuqiang; Zhou, Xi; Ren, Wei 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2021/05/06 optical telescope stabilizing optical path virtual gyroscope virtual multi-loop feedback control system measured disturbance feedforward vibration suppression
	A Modified Disturbance Observer Structure Based on Acceleration Measurement for Disturbance Suppression in Tracking Control System 期刊论文 APPLIED SCIENCES-BASEL, 2018, 卷号: 8, 期号: 9, 页码: 1571 作者: Jiuqiang Deng; Wei Ren; Hanwen Zhang; Yong Luo; Xi Zhou 收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2019/08/23 MEMS accelerometer integral saturation modified disturbance observer disturbance suppression drift rejection
	Combining a disturbance observer with triple-loop control based on MEMS accelerometers for line-of-sight stabilization 期刊论文 Sensors (Switzerland), 2017, 卷号: 17, 期号: 11, 页码: 2648 作者: Luo, Yong; Huang, Yongmei; Deng, Chao; Mao, Yao; Ren, Wei 收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2018/11/20 Accelerometers - Closed loop control systems - Fiber optics - Gyroscopes - Optical systems - Stabilization
	两轮自平衡机器人的系统设计与控制研究学位论文工学硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院大学, 2013 孙晨曦收藏 \| 浏览/下载：124/0 \| 提交时间：2015/09/02 自平衡机器人卡尔曼滤波 LQR 模糊控制神经网络 Self-balancing Robot Kalman Filtering LQR Fuzzy Control Neural Network
	Structure Design of Out-Plane Evanescent Coupling Accelerometer with Sub-wavelength Gratings 会议论文 2013 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO), 2013-01-01 作者: Yao, Baoyin; Feng, Lishuang; Zhou, Zhen; Wang, Wenpu; Wang, Xiao 收藏 \| 浏览/下载：4/0 \| 提交时间：2020/01/06 Evnescent waves coupling Sub-wavelength gratings Optical MEMS accelerometer Finite element analysis
	人体运动跟踪传感器设计与标定技术研究学位论文工程硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2012 李文明收藏 \| 浏览/下载：72/0 \| 提交时间：2015/09/02 惯性跟踪虚拟现实人机交互人体运动跟踪姿态融合 inertial tracking virtual reality gesture fusion human computer interaction human motion tracking
	Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文 journal of micro nanolithography mems and moems, 2012 Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2015/11/13 electrostatic actuator silicon-on-insulator asymmetrical comb drive capacitive position sensing VERTICAL COMB ELECTRODES CMOS-MEMS DRIVE DESIGN MICROMIRROR SENSORS
	Fabrication of Nano-grating by Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscopy Dual-beam System 会议论文 12th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology/2nd International Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, Xian, PEOPLES R CHINA, 2011-01-01 作者: Yao, Baoyin; Luo, Hu; Feng, Lishuang; Zhou, Zhen; Wang, Rongming 收藏 \| 浏览/下载：7/0 \| 提交时间：2020/01/06 Nano-grating FIB/SEM Dual Beam System Grating Transducer Optical MEMS Accelerometer

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