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Low temperature multi-layer wafer level package for chip scale atomic clock (CSAC) 其他
2015-01-01
Li, Nannan; Zhang, Yangxi; Zhu, Ningli; Zhu, Yunhui; Gao, Chengchen; Chen, Jing
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2017/12/03
Discussion and analysis of Au/a-Si contact resistance in MEMS/NEMS devices 其他
2015-01-01
Fu, Fengshan; Yang, Fang; Wang, Wei; Huang, Xian; He, Jun; Zhang, Li; Guan, Taotao; Li, Rui; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03
Silicon-silicon anodic bonding process with embedded glass 其他
2015-01-01
Cui, W.P.; Liu, G.D.; Zhang, F.S.; Hu, H.; Gao, C.C.; Hao, Y.L.
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03
Low Temperature Multi-layer Wafer Level Package for Chip Scale Atomic Clock (CSAC) 其他
2015-01-01
Li, Nannan; Zhang, Yangxi; Zhu, Ningli; Zhu, Yunhui; Gao, Chengchen; Chen, Jing
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03
Discussion and Analysis of Au/a-Si Contact Resistance in MEMS/NEMS Devices 其他
2015-01-01
Fu, Fengshan; Yang, Fang; Wang, Wei; Huang, Xian; He, Jun; Zhang, Li; Guan, Taotao; Li, Rui; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03
Micro Rb atomic vapor cells for the chip-scale atomic clock 其他
2014-01-01
Chang, Zhang; Shuangyou, Zhang; Dengzhu, Guo; Zhong, Wang; Jianye, Zhao
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/17
Mechanical strength of anchor-microbeam combined structure fabricated by silicon-on-glass process 其他
2014-01-01
He, Jun; Huang, Xian; Zhang, Li; Zhao, Danqi; Yang, Fang; Wang, Wei; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/03
Micro Rb Atomic Vapor Cells for the Chip-Scale Atomic Clock 其他
2014-01-01
Zhang Chang; Zhang Shuangyou; Guo Dengzhu; Wang Zhong; Zhao Jianye
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
Mechanical strength measurement of micro anchor-beam combined structure fabricated by silicon-on-glass process 其他
2014-01-01
He, Jun; Huang, Xian; Zhang, Li; Zhao, Danqi; Yang, Fang; Wang, Wei; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13
Electrical Interconnect in MEMS/NEMS Devices by Au/a-Si Eutectic Reaction 其他
2013-01-01
Huang, X.; Zhao, D. Q.; He, J.; Fan, X. J.; Yang, F.; Zhang, D. C.
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16
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