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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2020     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints 期刊论文 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789 作者:  Jipeng Wang;  Hesuan Hu;  Chunrong Pan;  Yuan Zhou;  Liang Li 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2021/03/11 Cluster tools  multiple wafer types  scheduling  semiconductor manufacturing  wafer fabrication