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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A Si-Glass based pressure sensor with a single piezoresistive element for harsh environment applications 其他 2013-01-01 Zhang, H; Xu, Huiming; Li, Yan; Song, Zij; San, Haisheng; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 MEMS  Pressure sensors  Silicon   Fabrication of silicon piezoresistive pressure sensor using a reliable wet etching process 其他 2013-01-01 Xu, Huiming; Zhang, H; Deng, Zhiqia; San, Haishen; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/07/22 Fabrication  Fixtures (tooling)  Pressure sensors  Silicon  Silicon wafers  Wet etching   Silicon microring sensors 其他 2012-01-01 Zhou, Zhiping; Yi, Huaxiang 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/13 Silicon microring  optical sensors  resonance shift  SHARP ASYMMETRICAL RESONANCE  RING-RESONATORS  BIOCHEMICAL SENSORS  INTENSITY DETECTION  HIGH-SENSITIVITY  FILTERS  ARRAY  CHIP   Research and analysis of a laser-type high temperature pressure sensor based on SiC diaphragm 其他 2012-01-01 Hu, Yanqing; Hu, Guoqing; Yi, Shaoxiang; Zhang, Jianwei; 胡国清 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 Aerospace engineering  Chemical analysis  Chemical properties  Deflection (structures)  Diaphragms  Finite element method  High pressure engineering  High temperature applications  Laser theory  Mathematical models  Mechanical properties  Partial pressure sensors  Pressure  Pressure sensors  Silicon carbide  Thermoelasticity  Triangulation   Impact of the silicon layer thickness to the optical property of sandwich photonic crystal structure 其他 2011-01-01 Li, Fangqiang; Li, Changzheng; San, Haisheng; Chen, Xuyu; 伞海生; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22 Electromagnetic wave polarization  Experiments  Light transmission  Optical properties  Photonic crystals  Plasmons  Semiconducting silicon compounds  Sensors  Silicon wafers  Surface plasmon resonance  Thickness measurement   Design, fabrication, testing and mechanical analysis of bulk-micromachined flowmeters 其他 2004-01-01 Wang, XB; Qian, J; Zhang, DC 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/10 micromachined flowmeters  bulk-micromachining  piezoresistivity  Wheatstone bridge  FLOW SENSORS  SILICON