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Design of SAW sensor for longitudinal strain measurement with improved sensitivity 期刊论文
Microsystem Technologies, 2019, 卷号: 25, 页码: 351-359
作者:  Ren, Juan;  Anurakparadorn, Kanat;  Gu, Hairong;  Zhao, Minghui;  Wei, Xueyong
收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2019/11/19
Beam Shaping Performance Based on Metallic Corrugated Grooves and Dielectric Periodic Gratings at 500 GHz 期刊论文
IEEE ACCESS, 2018, 卷号: 6, 页码: 42507-42515
作者:  Ding, Jiang-Qiao;  Hu, Jie;  Shi, Sheng-Cai;  Zhao, Yun
收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2019/04/08
硅微静电悬浮加速度计实验研究 期刊论文
2016, 2016
张汉蒸; 韩丰田; 孙搏谦; 马高印; ZHANG Han-zheng; HAN Feng-tian; SUN Bo-qian; MA Gao-yin
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硅微静电加速度计的支承刚度特性 期刊论文
2016, 2016
韩丰田; 吴秋平; 孙搏谦; 张汉蒸; 马高印; HAN Feng-tian; WU Qiu-ping; SUN Bo-qian; ZHANG Han-zheng; MA Gao-yin
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新型透明电光陶瓷的特性及器件技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  张学娇
收藏  |  浏览/下载：272/0  |  提交时间：2016/11/28
Fabrication of multifunctional components in a glass chip with femtosecond laser direct writing 期刊论文
科学通报, 2016, 卷号: 61, 期号: 6, 页码: 567
作者:  Liao Y(廖洋);  Wang P(王鹏);  Qiao LL(乔玲玲);  Lin JT(林锦添);  He F(何飞)
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2017/12/25
Fabrication of multifunctional components in a glass chip with femtosecond laser direct writing 期刊论文
科学通报, 2016, 卷号: 61, 期号: 6, 页码: 567
作者:  Lin JT(林锦添);  Liao Y(廖洋);  Cheng Y(程亚);  Wang P(王鹏);  Qiao LL(乔玲玲)
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2017/12/25
Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer 期刊论文
Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7
作者:  Yu, Feng;  Xu, Pengcheng;  Wang, Jiachou;  Li, Xinxin
收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2019/05/10
Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation 期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:  Zhao, Yulong;  Li, Cun;  Hao, Mengmeng;  Cheng, Rongjun;  Fan, Xiaole
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02
Proton Beam Applications for Silicon Bulk Micromachining 会议论文
Proceedings of the 6th International Particle Accelerator Conference (IPAC 2015), Newport News, 2015
作者:  P.Nenzi;  G.Bazzano;  F.Marracino;  L.Picardi;  C.Ronsivalle
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/07/04

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