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上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
1999 [3]
学科主题
Physics, A... [3]
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学科主题:Physics, Applied
发表日期:1999
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Gettering of Cu by microcavities in bonded/ion-cut silicon-on-insulator and separation by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 4214-4219
Zhang, MO
;
Zeng, XC
;
Chu, PK
;
Scholz, R
;
Lin, CL
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
HYDROGEN
CAVITIES
COPPER
NICKEL
Short-wavelength photoluminescence from silicon and nitrogen coimplanted SiO2 films
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1999, 卷号: 74, 期号: 10, 页码: 1403-1405
Zhao, J
;
Mao, DS
;
Lin, ZX
;
Ding, XZ
;
Jiang, BY
;
Yu, YH
;
Liu, XH
;
Yang, GQ
收藏
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浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2012/03/25
VISIBLE PHOTOLUMINESCENCE
ROOM-TEMPERATURE
ION-IMPLANTATION
LUMINESCENCE
LAYERS
GLASS
Comparison of Cu gettering to H+ and He+ implantation-induced cavities in separation-by-implantation-of-oxygen wafers
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 85, 期号: 1, 页码: 94-98
Zhang, MA
;
Lin, CL
;
Duo, XZ
;
Lin, ZX
;
Zhou, ZY
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2012/03/25
ION-IMPLANTATION
SILICON-OXIDES
COPPER
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