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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A Wafer-Level Sn-Rich Au-Sn Bonding Technique and Its Application in Surface Plasmon Resonance Sensors 期刊论文 chinese physics letters, 2014, 卷号: 31, 期号: 5, 页码: 056803 Mao, X; Lv, XD; Wei, WW; Zhang, Z; Yang, JL; Qi, ZM; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/04/02 Stability of Mechanical Properties for Submicrometer Single-Crystal Silicon Cantilever Under Cyclic Load 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 178-183 Zhu YF; Zhang FX; Yang JL; Zheng HY; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：51/8  |  提交时间：2011/07/06 Cyclic  mechanical property  resonant frequency  stability  submicrometer-thick cantilever  ENERGY-DISSIPATION  STRUCTURAL FILMS  THIN-FILMS  FATIGUE   A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS 会议论文 24th ieee international conference on micro electro mechanical systems (mems), cancun, mexico, 2011 Xie J (Xie J.); Liu YF (Liu Y. F.); Zhang ML (Zhang M. L.); Yang JL (Yang J. L.); Yang FH (Yang F. H.) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/12/13 An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475 Liu YF; Xie J; Zhang ML; Yang JL; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2011/07/06 Galvanic corrosion  polysilicon  resistivity  titanium (Ti) redox sacrificial layer  POLYSILICON  OXIDATION   Ultrasensitive Detection of Infrared Photon Using Microcantilever: Theoretical Analysis 期刊论文 chinese physics letters, 2010, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: art. no. 108501 Cao LX (Cao Li-Xin); Zhang FX (Zhang Feng-Xin); Zhu YF (Zhu Yin-Fang); Yang JL (Yang Jin-Ling) 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/11/02 SENSITIVITY  PERFORMANCE  CANTILEVERS