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Use of electrochemistry in mini-/micro-LEDs and VCSELs
会议论文
Virtual, Online, 2022-02-20
作者:
Kang, Jin-Ho
;
Elafandy, Rami
;
Li, Bingjun
;
Song, Jie
;
Han, Jung
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2022/07/14
EC etching
nanoporous GaN
miniLED
microLED
RGB array
DBR
VCSEL
blue laser
Improved etching uniformity using equivalent electrodes on an unconventional, irregular membrane optical element for large aperture diffractive optical telescopes
会议论文
作者:
Zhang, Jingwen
;
Li, Zhiwei
;
Shao, Junming
;
Liu, Dun
;
Fan, Bin
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2020/12/18
Electrodes
Electron temperature
EtchingElectron number densities
Etching depth
Etching uniformity
Irregular sample
Irregular shape
Large aperture
Plasma characteristics
Plasma discharge
Precise control of surface texture on carbon film by ion etching through filter: Optimization of texture size for improving tribological behavior
会议论文
作者:
Chen, Sicheng
;
Qian, Guocheng
;
Yang, Lei
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/11/19
Graphene nanocrystallite size
Ion etching
Nano-precision fabrication
Texture
Tribological properties
Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2021/05/06
Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2020/11/15
Computer simulation
Electrodes
Gases
Heat transfer
Ions
Manufacture
Mass transfer
Pressure distribution
Reactive ion etching
Surface waves
Commercial software
Distribution profiles
Electrode surfaces
Etching uniformity
Fluent(Ansys)
Gas flow distribution
Heat transfer model
Plasma distribution
Investigation of high aspect ratio multi-level contact holes etching process in three-dimensional flash memory manufacturing
会议论文
作者:
Yuqi Wang
;
Lipeng Liu
;
Baoyou Chen
;
Wenjie Zhang
;
Chuanbin Zeng
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2019/05/13
Investigation of Reducing Bow during High Aspect Ratio Trench Etching in 3D NAND Flash Memory
会议论文
作者:
Huo ZL(霍宗亮)
;
Liu LP(刘立芃)
;
Xia ZL(夏志良)
;
Yuan Y(袁野)
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2019/05/16
A stretchable transparent conductive film based on polymer microspheres lithography technology
会议论文
上海, 2018
作者:
Xinyu Zhang
;
Yougen Hu
;
Wenlong Jiang
;
Pengli Zhu
;
Rong Sun
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2019/01/31
Hydrothermal assembly of one-dimensional boron nitride nanostructures
会议论文
上海, 2018
作者:
Guang Yang
;
Haixu Wang
;
Ning Wang
;
Rong Sun
;
Ching-Ping Wong
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2019/01/31
Effect of micro-crack and reaction product on laser damage performance of optical glass during chemical etching
会议论文
作者:
Xiao, Huapan
;
Chen, Zhi
;
Wang, Hairong
;
Liang, Rongguang
;
Yu, Na
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2019/11/19
laser damage
light intensity
chemical etching
optical glass
micro-crack
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