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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2009 [1]
2004 [1]
2003 [2]
学科主题
Physics, A... [4]
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学科主题:Physics, Applied
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The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903
Ou, X
;
Kogler, R
;
Mucklich, A
;
Skorupa, W
;
Moller, W
;
Wang, X
;
Vines, L
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SOI MOSFETS
SILICON
SI
HELIUM
SEPARATION
DEFECTS
TEMPERATURE
HYDROGEN
BUBBLES
Comparative study of SOI/Si hybrid substrates fabricated using high-dose and low-dose oxygen implantation
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 37, 期号: 13, 页码: 1732-1735
Dong, YM
;
Chen, M
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE LAYERS
ION-IMPLANTATION
SILICON
OXIDATION
Oxygen profile engineering in silicon by germanium addition and high-temperature annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 2, 页码: 305-307
An, ZH
;
Chu, PK
;
Zhang, M
;
Men, CL
;
Lin, CL
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
SI/SIO2 SUPERLATTICE
SI
Linear and third-order nonlinear optical absorption of amorphous Ge nanoclusters embedded in Al2O3 matrix synthesized by electron-beam coevaporation
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 19, 页码: 3162-3164
Wan, Q
;
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Liu, WL
;
Yang, G
;
Wang, TH
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
Z-SCAN DETERMINATION
ION-IMPLANTATION
VISIBLE PHOTOLUMINESCENCE
SI NANOCRYSTALS
SILICA MATRIX
FILMS
LUMINESCENCE
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