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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An optimized fabrication of high yield CMOS-compatible silicon carbide capacitive pressure sensors 其他 2012-01-01 Meng, B.; Tang, W.; Wang, Z.R.; Zhang, H.X. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 A Novel Method of Anodic Bonding 其他 2009-01-01 Tang, Wei; Chen, Zhe; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS  anodic bonding  Silicon Carbide  intermediate layer   Investigation of nano SiC resonator 其他 2007-01-01 Chen, Zhe; Tian, Dayu; Zhang, Guobing; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 nano resonator  Silicon Carbide  high frequency  high Q