QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：合肥物质科学研究院    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A RF plasma source with focused magnetic field for material treatment 期刊论文 PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING, 2022 作者:  Zhang, L. P.;  Chang, L.;  Yuan, X. G.;  Zhang, J. H.;  Zhou, H. S. 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2022/12/23 Helicon plasma  Focused magnetic field  IEDF  EEDF   The application of a helicon plasma source in reactive sputter deposition of tungsten nitride thin films 期刊论文 Plasma Science and Technology, 2022, 卷号: 24 作者:  YANG,Yan;  JI,Peiyu;  LI,Maoyang;  YU,Yaowei;  HUANG,Jianjun 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2022/12/22 helicon wave plasma  reactive sputtering  tungsten nitride  plasma diagnosis