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内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2022 [4]
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发表日期:2022
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A RF plasma source with focused magnetic field for material treatment
期刊论文
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING, 2022
作者:
Zhang, L. P.
;
Chang, L.
;
Yuan, X. G.
;
Zhang, J. H.
;
Zhou, H. S.
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2022/12/23
Helicon plasma
Focused magnetic field
IEDF
EEDF
Application of positive pulse to extract ions from HiPIMS ionization region
期刊论文
VACUUM, 2022, 卷号: 204, 页码: 11
作者:
Li, Liuhe
;
Gu, Jiabin
;
Xu Y(许亿)
;
Han, Mingyue
;
Bilek, MarcelaMilenaMarie
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2022/12/20
High power impulse magnetron sputtering
(HiPIMS)
Ions extraction method
PIC-MCC simulation
Microscopic mechanism of ions extraction
The application of a helicon plasma source in reactive sputter deposition of tungsten nitride thin films
期刊论文
Plasma Science and Technology, 2022, 卷号: 24
作者:
YANG,Yan
;
JI,Peiyu
;
LI,Maoyang
;
YU,Yaowei
;
HUANG,Jianjun
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2022/12/22
helicon wave plasma
reactive sputtering
tungsten nitride
plasma diagnosis
Applying the plasma physical sputtering process to SRF cavity treatment: Simulation and Experiment Study
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2022, 卷号: 574, 页码: 10
作者:
Zhu, Tongtong
;
Luo, Didi
;
Wu, Andong
;
Tan, Teng
;
Guo, Hao
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浏览/下载:78/0
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提交时间:2022/01/12
SRF cavities
Plasma processing
Self-consistent model
Sputtering-yield probability distribution
IEDF
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