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Wafer-level fabrication of low power consumption integrated alcohol microsensor 期刊论文
MICRO & NANO LETTERS, 2019, 卷号: 14, 页码: 11-16
作者:  Wang, Hairong;  Wang, Mengya;  Lei, Weitao;  Chen, Xiaowei;  Huang, Hao
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Surface micromachined MEMS deformable mirror based on hexagonal parallel-plate electrostatic actuator 会议论文
Dalian, PEOPLES R CHINADalian, PEOPLES R CHINA, OCT 26-29, 2017OCT 26-29, 2017
作者:  Ma, Wenying;  Ma, Changwei;  Wang, Weimin
收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2019/08/23
Monolithic Integration of Pressure Plus Acceleration Composite TPMS Sensors With a Single-Sided Micromachining Technology 期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 2, 页码: 284-293
Wang, JC; Xia, XY; Li, XX
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/04/23
约束刻蚀剂层技术用于GaAs表面的三维微加工和Cu表面平坦化的研究 学位论文
2011, 2010
王文华
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2016/02/14
A MEMS micromirror driven by electrostatic force 期刊论文
JOURNAL OF ELECTROSTATICS, 2010, 卷号: 68, 期号: 3, 页码: 237-242
作者:  Hu, Fangrong;  Yao, Jun;  Qiu, Chuankai;  Ren, Hao
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Fabrication of Si/sub 3/N/sub 4/ micro-components by a combined microfabrication process 会议论文
Key Engineering Materials, International Symposium on New Frontier of Advanced Si-Based Ceramics and Composites (ISASC 2004), Gyeongju, South Korea, INSPEC
Jing-Feng Li; Songzhe Jin; Yong Li
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Design, Simulation, and Characterization of Variable Inductor With Electrostatic Actuation Fabricated by Using Surface Micromachining Technology 期刊论文
ieee电子器件汇刊, 2010
Fang, Dong-Ming; Li, Xiu-Han; Yuan, Quan; Zhang, Hai-Xia
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/10
微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究 学位论文
2008, 2001
孙建军
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2016/02/14
A bulk micromachined Si-on-glass Tunneling accelerometer with out-of-plane sensing capability 其他
2007-01-01
Miao, Min; Hu, Qifang; Hao, Yilong; Dong, Haifeng; Wang, Ling; Shi, Yunbo; Shen, Sanmin
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/10
Single-wafer-processed nano-positioning XY-stages with trench-sidewall micromachining technology 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 1349-1357
Gu, L; Li, XX; Bao, HF; Liu, B; Wang, YL; Liu, M; Yang, ZX; Cheng, BL
收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2011/11/08

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