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发表日期
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2014 [1]
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基于约束化学刻蚀的新型电化学微加工方法及其应用
学位论文
2016, 2015
张杰
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/06/20
约束刻蚀剂层技术
屈曲
电化学屈曲微加工技术
复杂三维多级结构
纳米压印
金属腐蚀刻蚀
电化学纳米压印技术
Confined etchant layer technique
Buckling
Electrochemical buckling microfabrication
Complex 3D hierarchical structures
Nanoimprint lithography
Metal assisted chemical etching
Electrochemical nanoimprint lithography
基于二氧化钛纳米管阵列的光诱导约束刻蚀体系初探
学位论文
2014, 2013
方秋艳
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2016/01/14
光诱导约束刻蚀体系
羟基自由基
二氧化钛纳米管阵列
平坦化
光催化沉积
photoinduced confined chemical etching system
hydroxyl radical
TiO2 Nanotube Arrays
planarization
photodeposition
电化学微/纳米加工技术
期刊论文
2012
张杰
;
贾晶春
;
朱益亮
;
韩联欢
;
袁野
;
时康
;
周剑章
;
田昭武
;
田中群
;
詹东平
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/08/17
微/纳米加工技术
电化学微/纳米加工
约束刻蚀剂层技术
扫描微电解池技术及其在微加工的应用
学位论文
2012, 2012
杨德志
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
电化学微加工
扫描微电解池技术
电化学微器件
铁氰化物-氯化钠固体溶液微晶体
氧化锌薄膜
Electrochemical microfabrication
Scanning micro electrochemical cell technique
Electrochemical microdevices
Iron hexacyanide-sodium chloride solid-state solution
Nano-structured ZnO film
基于化学约束刻蚀剂层技术的铜表面加工研究
学位论文
: 大连理工大学, 2012
作者:
李哲
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/18
铜
化学刻蚀
约束刻蚀剂层技术
集成电路
精密加工
科学无止境 魅力在创新——记中国科学院院士田昭武
期刊论文
http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract8353.shtml, 2011
吴清玉
;
吴奕纯
;
Wu Qing-yu
;
Wu Yi-chun
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2013/11/18
约束刻蚀剂层技术用于GaAs表面的三维微加工和Cu表面平坦化的研究
学位论文
2011, 2010
王文华
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
约束刻蚀剂层技术
GaAs
Cu互联结构
表面平坦化
Confined Etchant Layer Techique
GaAs
Cu Innerconnection
Surface planarization
不同类型GaAs上应用约束刻蚀剂层技术进行电化学微加工
期刊论文
2009
汤儆
;
王文华
;
庄金亮
;
崔晨
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/05/17
阳极溶解
砷化镓
约束刻蚀剂层技术
刻蚀剂
捕捉剂
Anodic dissolution
GaAs
Confined etchant layer technique
Etchant
Scavenger
镁合金表面微结构阵列的电化学微加工
期刊论文
http://epub.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=WLHX200807032&dbname=CJFQ2008, 2008
蒋利民
;
程泽宇
;
杜楠
;
李维
;
田中群
;
田昭武
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2013/06/17
约束刻蚀剂层技术
镁
三维微加工
电化学
微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究
学位论文
2008, 2001
孙建军
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
微系统
电化学微加工
约束刻蚀剂层技术
Microsystem
Microelectromechanical System
MEMS
Electrochemical Micromachining
Confined Etchant Layer Technique
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