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Photocontrol of fluid slugs in liquid crystal polymer microactuators
期刊论文
NATURE, 2016
Lv, Jiu-An
;
Liu, Yuyun
;
Wei, Jia
;
Chen, Erqiang
;
Qin, Lang
;
Yu, Yanlei
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2017/12/03
CHEMICAL-SYNTHESIS
LIGHT
SURFACE
DRIVEN
MICROFLUIDICS
TRANSPORT
ACTUATORS
NETWORKS
DROPLET
MOTION
Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation
期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:
Zhao, Yulong
;
Li, Cun
;
Hao, Mengmeng
;
Cheng, Rongjun
;
Fan, Xiaole
收藏
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2019/12/02
thin film
finite element method
flammable areas
fibre conducts
light intensity modulation
silicon compounds
microsensors
bulk micromachining technology
optical microelectromechanical-system pressure sensor
combustible areas
optical cables
intensity modulation
pressure sensors
silicon diaphragm deformation
micromachining
pressure measurement
finite element analysis
optical cable
reflected light intensity shift
pressure 0 MPa to 20 MPa
signal transmission
photoelectric detection circuit
micro-optomechanical devices
elemental semiconductors
optical modulation
thin films
source light
silicon
fibre optic sensors
Interferometric detection method for micro-displacement based on integrated diffraction grating
期刊论文
2010, 2010
Wu Kang
;
Ye Xiong-ying
;
Liu Li-tao
;
Chen Feng
;
Zhou Zhao-ying
收藏
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浏览/下载:5/0
Discussion on the improved diffractive superresolution element of the two-photon microfabrication
会议论文
International Technology and Innovation Conference 2006. ITIC 2006, International Technology and Innovation Conference 2006. ITIC 2006, Hangzhou, China, INSPEC
Wei Peng
;
Zhu Yu
;
Tan QiaoFeng
;
Duan GuangHong
收藏
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浏览/下载:5/0
Modeling and simulation of two-dimensional MOEMS scanning mirror
期刊论文
2010, 2010
Zhang Chi
;
Zhang Gao-fei
;
You Zheng
收藏
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浏览/下载:3/0
基于多分辨率信号分解的低轨通信卫星频谱感知
期刊论文
电子与信息学报, 2010, 期号: 09
马陆
;
李理敏
;
胡泽鑫
;
梁旭文
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
低功耗
微型加热器
铂
各向异性腐蚀
气体探测用低功耗微型加热器研究
会议论文
中国兵工学会第十五届测试技术学术年会, 2010
许磊
;
李铁
;
高秀丽
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/18
MEMS
低功耗
微型加热器
铂
各向异性腐蚀
表面活性剂动态修饰PDMS的研究进展
期刊论文
材料导报, 2010, 期号: S2
季伙燕
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
硅基集成式定位平台
位移传感器
闭环控制
开环控制
神经元自适应PID控制
微流控芯片电泳分离血清高密度脂蛋白亚类的研究
期刊论文
生物化学与生物物理进展, 2010, 期号: 02
郑慧斐
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
收藏
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2012/01/06
电子技术
MEMS
高量程加速度传感器
阻尼效果
近似叠加理论
Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1331-1340
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2011/12/17
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THERMOELECTRIC SENSORS
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