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Beam Shaping Performance Based on Metallic Corrugated Grooves and Dielectric Periodic Gratings at 500 GHz 期刊论文
IEEE ACCESS, 2018, 卷号: 6, 页码: 42507-42515
作者:  Ding, Jiang-Qiao;  Hu, Jie;  Shi, Sheng-Cai;  Zhao, Yun
收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2019/04/08
硅微静电悬浮加速度计实验研究 期刊论文
2016, 2016
张汉蒸; 韩丰田; 孙搏谦; 马高印; ZHANG Han-zheng; HAN Feng-tian; SUN Bo-qian; MA Gao-yin
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硅微静电加速度计的支承刚度特性 期刊论文
2016, 2016
韩丰田; 吴秋平; 孙搏谦; 张汉蒸; 马高印; HAN Feng-tian; WU Qiu-ping; SUN Bo-qian; ZHANG Han-zheng; MA Gao-yin
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新型透明电光陶瓷的特性及器件技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  张学娇
收藏  |  浏览/下载：272/0  |  提交时间：2016/11/28
Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer 期刊论文
Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7
作者:  Yu, Feng;  Xu, Pengcheng;  Wang, Jiachou;  Li, Xinxin
收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2019/05/10
Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation 期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:  Zhao, Yulong;  Li, Cun;  Hao, Mengmeng;  Cheng, Rongjun;  Fan, Xiaole
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02
Packaging a piezoresistive pressure sensor for intracranial pressure monitoring 会议论文
作者:  Meng, Xiawei;  Zhao, Yulong
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02
A CMOS compatible process for monolithic integration of high-aspect-ratio bulk silicon microstructures 期刊论文
Science China(Information Sciences), 2014
QIAN Liang; YANG ZhenChuan; YAN GuiZhen
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2017/12/03
A novel inertial switch based on nonlinear-spring shock stop 其他
2013-01-01
Deng, K.F.; Su, W.G.; Li, S.; Zhang, Y.T.; Chen, G.Z.; Zhang, W.; Wan, S.; Li, L.; Jiang, S.B.; Zheng, H.; Xia, W.
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
超短脉冲激光微加工透明介质机制与建模 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:  孙明营
收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2016/11/28

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