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科研机构
沈阳自动化研究所 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2014 [1]
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Study on a method of dispensing calibration for photoresist pump based on support vector machine
会议论文
2015 IEEE International Conference on Cyber Technology in Automation, Control, and Intelligent Systems (CYBER), Shenyang, China, June 8-12, 2015
作者:
Zhang JL(张吉龙)
;
Hu JT(胡静涛)
;
Cao YX(曹云侠)
;
Chi HD(迟浩东)
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提交时间:2015/12/24
coater and developer
photoresist pump
support vector machine
calibrate
基于CAN总线的胶泵控制系统设计与实现
期刊论文
小型微型计算机系统, 2014, 卷号: 35106-108页, 期号: S, 页码: 106-108
作者:
曹云侠
;
张吉龙
;
迟浩东
;
胡静涛
收藏
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浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2014/12/29
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