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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Sub-5 nm Lithography with Single GeV Heavy Ions Using Inorganic Resist 期刊论文 NANO LETTERS, 2021, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 2390-2396 作者:  Liu, Qing;  Zhao, Jing;  Guo, Jinlong;  Wu, Ruqun;  Liu, Wenjing 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2021/12/10 Nanolithography  Heavy Ions  Single-digit Nanometer  Atomic-scale Fabrication  Inorganic Resist