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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Application of compact NEG-sputter ion pump combination in UHV system of HIAF 期刊论文 Vacuum, 2018, 卷号: 157, 页码: 159-165 作者:  Luo, C.;  Li, P.;  Xie, W.J.;  Wan, Y.P.;  Chai, Z. 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2020/11/14 Chemical activation  Dynamics  Getters  Heavy ions  Linear accelerators  Protactinium  Vacuum pumps  Accelerator facilities  Booster ring  Dynamic flows  Heavy-ion accelerator  High energy density physics  Non-evaporable getters  Pumping speed  Titanium sublimation pumps   Micro/nano film getters for vacuum maintenance of MEMS 其他 2007-01-01 Jin, Yufeng; Tang, Hao; Wang, Zhenfeng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 micro-electro-mechanic systems  vacuum maintenance  film getter   Micro/nano film getters for vacuum maintenance of MEMS 其他 2007-01-01 Jin, Yufeng; Tang, Hao; Wang, Zhenfeng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Zr/V/Fe thick film for vacuum packaging of MEMS 期刊论文 journal of micromechanics and microengineering, 2004 Jin, YF; Wang, ZF; Zhao, L; Lim, PC; Wei, J; Wong, CK 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/16 GETTERS  DEVICES