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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   自适应光学系统中倾斜镜的自适应逆控制 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2203-2210 作者:  王玉坤;  胡立发;  王冲冲;  王少鑫;  宣丽 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 自适应光学系统  倾斜镜  自适应逆控制  迟滞非线性  控制精度   扫描探针显微镜研制中的若干关键技术研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015 作者:  王栋 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2015/08/20 扫描探针显微镜  原子力显微镜  关键技术  迟滞前馈校正  幅值检测   基于梯形算子的AFM驱动器非对称迟滞性校正 期刊论文 仪器仪表学报, 2015, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 32-39 作者:  王栋;  于鹏;  周磊;  刘柱;  董再励 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/03/17 非对称PI模型  梯形算子  原子力显微镜  压电陶瓷  迟滞性前馈校正  逆模型直接辨识   基于辨识逆模型的AFM压电驱动器迟滞性前馈校正 会议论文 11th World Congress on Intelligent Control and Automation (WCICA 2014), Shenyang, China, June 29 - July 4, 2014 作者:  王栋;  于鹏;  周磊;  刘柱;  杨洋 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2014/12/29 直接辨识逆模型  原子力显微镜  原子力显微镜  压电陶瓷  迟滞性校正   一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102486477A, 申请日期: 2012-06-06, 作者:  董再励;  王栋;  周磊;  刘柱;  黄富强 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/10/15 用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 舒强 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2014/12/11 波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位