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上海微系统与信息技术... [9]
北京大学 [1]
电子学研究所 [1]
武汉轻工大学 [1]
内容类型
期刊论文 [10]
学位论文 [2]
发表日期
2008 [12]
学科主题
Engineerin... [1]
Engineerin... [1]
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发表日期:2008
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Experimental study on the footing effect for SOG structures using DRIE
期刊论文
pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2008
Ding, Haitao
;
Yang, Zhenchuan
;
Zhang, Meili
;
Yan, Guizhen
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/13
4G移动通信城市环境电波传播特性测量与建模
期刊论文
电波科学学报, 2008, 期号: 06
王萍
;
李颖哲
;
常若艇
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
大尺寸光学扫描镜
电磁驱动
大角度转动
光学反射率
GaSb/InGaAsSb量子阱的带间跃迁设计
期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03
刘盛
;
张永刚
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/01/06
电容式传感器
MEMS
信号调理
检测电路
CFD-ACE+软件对PCR微芯片传热过程的数值模拟和分析
期刊论文
科技信息(科学教研), 2008, 期号: 15
陈飞
;
王为术
;
李具峰
;
邹志青
;
金庆辉
;
赵建龙
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/01/06
梳齿驱动器
侧向稳定性
MEMS
Rotational driven RF variable capacitors with post-CMOS processes
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2008, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 195-197
Gu, L
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/12/17
LARGE TUNING RANGE
MEMS
Effects of environmental temperature on the performance of a micromachined gyroscope
期刊论文
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 199-204
Liu, GJ
;
Wang, AL
;
Jiang, T
;
Jiao, JW
;
Jang, JB
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2011/12/17
MEMS
DESIGN
FABRICATION
DEVICES
High-performance monolithic triaxial piezoresistive shock accelerometers
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2008, 卷号: 141, 期号: 2, 页码: 339-346
Dong, PT
;
Li, XX
;
Yang, H
;
Bao, HF
;
Zhou, W
;
Li, SY
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2011/12/17
MEMS
SENSORS
基于MEMS的光纤加速度计的研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
曾凡林
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浏览/下载:173/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS
光纤加速度计
双光纤准直器
敏感芯片
噪声
自呼吸式硅微机械微质子交换膜燃料电池关键技术研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
郑丹
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/03/06
微型
质子交换膜燃料电池
自呼吸
MEMS
集成式多孔硅基电极
Processing matters: In situ fabrication of conducting polymer microsensors enables ultralow-limit gas detection
期刊论文
ADVANCED MATERIALS, 2008, 卷号: 20, 期号: 11 Pages, 页码: 2145-2150
Xue, MQ
;
Zhang, Y
;
Yang, YL
;
Cao, TB
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/05/12
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