| 题名 | 基于MEMS的光纤加速度计的研究 |
| 作者 | 曾凡林 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | MEMS 光纤加速度计 双光纤准直器 敏感芯片 噪声 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微电子机械系统MEMS(Micro-electro-mechanical System)与光纤检测技术相结合给传感器的研制带来崭新的发展方向:MEMS光纤传感器。与传统的传感器相比,MEMS光纤传感器具有传感端头电绝缘、无需电源、抗电磁干扰、尺寸小、传输距离长等优点。本文提出一种基于MEMS技术的光纤加速度传感器,采用MEMS工艺制作传感芯片,并和双光纤准直器封装来制作加速度传感器。 文章首先简要回顾MEMS技术及其发展现状和方向,随后介绍光学MEMS技术及其在加速度计方面的应用。然后,分类讨论微机械加速 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82850]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾凡林 . 基于MEMS的光纤加速度计的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
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