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Formation of ultralow-reflectance silicon surface by dry etching 其他
2015-01-01
Zhang, Li; Yang, Fang; He, Jun; Huang, Xian; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/04
Subsurface damage detection and damage mechanism analysis of chemical-mechanical polished optics 其他
2014-01-01
Ye, Hui; Yang, Wei; Bi, Guo; Yang, Ping; Guo, Yinbiao; 杨炜; 毕果; 杨平; 郭隐彪
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22
Analysis of cotton-like silica contaminants induced by oxygen containing plasma stripping of organic structures on silicon wafer 其他
2013-01-01
She, D.D.; Zhao, L.R.; Wang, Z.Q.; Ma, X.Y.; Wu, W.G.
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13
A novel bulk micromachined tunneling gyroscope 其他
2011-01-01
Wang, Lingy; Su, Yuanzhe; Lei, Y; Li, Wenwang; Liu, Yifan; Sun, Daohen; 王凌云; 刘益芳; 孙道恒
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22
Fabrication and characterization of a novel bulk Si micromachined distributed microwave phase shifter 其他
2004-01-01
Miao, M; Jin, YF; Zhang, JW; Wu, GY; Hao, YL; Zhang, HX
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
基于金纳米粒子掩模的硅表面纳米结构加工 其他
2001-01-01
陈柱成; 郑激文; 刘忠范
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/10/24

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