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Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon grating using an alignment method based on a scanning beam interference lithography system
期刊论文
Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 22, 页码: 40842-40853
作者:
X. S. Chen
;
S. Jiang
;
Y. B. Li
;
Y. X. Jiang
;
W. Wang and Bayanheshig
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提交时间:2023/06/14
The substantial dislocation reduction by preferentially passivating etched defect pits in gan epitaxial growth
期刊论文
Applied physics express, 2019, 卷号: 12, 期号: 3
作者:
Hu,Wei
;
Die,Junhui
;
Wang,Caiwei
;
Yan,Shen
;
Hu,Xiaotao
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浏览/下载:145/0
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提交时间:2019/05/09
Gallium nitride
Defect preferential passivation
In situ sinx
Dislocation reduction
Prevention effect
Uniform Metal-Assisted Chemical Etching for Ultra-High-Aspect-Ratio Microstructures on Silicon
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2019, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 143-153
作者:
Li, Liyi
;
Tuan, Chia-Chi
;
Zhang, Cheng
;
Chen, Yun
;
Lian, Gang
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2019/12/11
Metal-assisted chemical etching
silicon wet etch
high aspect ratio
Uniform Metal-Assisted Chemical Etching for Ultra-High-Aspect-Ratio Microstructures on Silicon
期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems, 2018
作者:
Li L.
;
Tuan C.
;
Zhang C.
;
Chen Y.
;
Lian G.
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/12/11
high aspect ratio.
Metal-assisted chemical etching
silicon wet etch
Manufacturing of a Compact Micro Air Bearing Device for Power Micro Electro Mechanical System (MEMS) Applications Using Silica Film Assisted Processing
期刊论文
MICROMACHINES, 2018, 卷号: 9
作者:
Yu, Mingxing
;
Lv, Pin
;
Xu, Tiantong
;
Tan, Xiao
;
Li, Haiwang
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/12/30
micro air bearing
silicon dioxide film
DRIE etch
wet etch
bonding
power MEMS
Characterization of a Free-Standing Membrane Supported Superconducting Ti Transition Edge Sensor
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY, 2017, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 6
作者:
Zhang, Wen
;
Miao, Wei
;
Wang, Zheng
;
Liu, Dong
;
Zhong, Jia-Qiang
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2019/04/08
Superconducting transition edge sensor
thermal conductance
response time
noise equivalent power
KOH wet etch
Transfer process of LT-GaAs epitaxial films for on-chip terahertz antenna integrated device
期刊论文
journal of infrared and millimeter waves, 2017, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 220-+
作者:
Guo Chun-Yan
;
Xu Jian-Xing
;
Peng Hong-Ling
;
Ni Hai-Qiao
;
Wang Tao
收藏
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浏览/下载:109/0
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提交时间:2017/06/06
on-chip THz antenna integrated device
LT-GaAs
epitaxial layer transfer
wet chemical etching
640x512 pixel InGaAs FPAs for short-wave infrared and visible light imaging
会议论文
作者:
Shao XM
;
Bo Y
;
Huang SL
;
Yang W
;
Li X
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2018/11/20
Monolithic Microlens VCSELs With High Beam Quality
期刊论文
Ieee Photonics Journal, 2017, 卷号: 9, 期号: 4
作者:
Huang, Y. W.
;
X. Zhang
;
J. W. Zhang
;
Y. Y. Xie
;
W. Hofmann
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2018/06/13
Fabrication of 3D Electro-Thermal Micro Actuator in silica glass by femtosecond laser wet etch and microsolidics
会议论文
作者:
Li, Qichao
;
Shan, Chao
;
Yang, Qing
;
Chen, Feng
;
Bian, Hao
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2019/11/26
3D solenoid microchannel
femtosecond laser
wet etching
electro-thermal micro actuators
silica glass
micro-nano manufacturing
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