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Striations in dual-frequency capacitively coupled CF4 plasmas: the role of the high-frequency voltage amplitude
期刊论文
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2019, 卷号: 28
作者:
Liu, Yong-Xin
;
Donko, Zoltan
;
Korolov, Ihor
;
Schungel, Edmund
;
Wang, You-Nian
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2019/12/02
striations
electronegative plasma
low pressure
capacitively coupled RF discharge
Study on Effect of Neutral Gas Pressure on Plasma Characteristics in Capacitive RF Argon Glow Discharges at Low Pressure by Fluid Modeling
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2018, 卷号: 46, 页码: 1738-1746
作者:
Samir, Tagra
;
Liu, Yue
;
Zhao, Lulu
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/12/02
Capacitively coupled
ohmic heating
plasma discharge
Hybrid Modeling of SiH4/Ar Discharge in a Pulse Modulated RF Capacitively Coupled Plasma
会议论文
68th Gaseous Electronics Conference
作者:
Song YH(宋远红)
;
Wang YN(王友年)
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/09
Numerical simulations of electrical asymmetry effect on electronegative plasmas in capacitively coupled rf discharge
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2011, 卷号: 109
作者:
Zhang, Quan-Zhi
;
Jiang, Wei
;
Hou, Lu-Jing
;
Wang, You-Nian
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/18
Deposition of SiOx films with a capacitively-coupled plasma at atmospheric pressure
外文期刊
2007
作者:
Xu, XY
;
Li, L
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/11/26
Chemical-vapor-deposition
Silicon Dioxide Films
Discharge
Jet
柱形等离子体辐射场的数值计算和分析
期刊论文
空间科学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 2, 页码: 93-98
赵国伟
;
陈诚
;
徐跃民
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2014/04/30
柱形等离子体
等离子体密度
辐射方向图
电磁波
空间科学
Influence of gas pressure on the pattern evolutions of dust clusters and fractals in a dusty plasma system
期刊论文
CHINESE PHYSICS, 2004, 卷号: 13, 期号: 11, 页码: 1896
Huang, F
;
Ye, MF
;
Wang, L
;
Jiang, N
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/09/17
COULOMB CRYSTALS
LIQUID
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