| Hybrid Modeling of SiH4/Ar Discharge in a Pulse Modulated RF Capacitively Coupled Plasma | |
| Song YH(宋远红); Wang YN(王友年) | |
| 2015 | |
| 会议名称 | 68th Gaseous Electronics Conference |
| 会议录 | 68th Gaseous Electronics Conference
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4411419 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Song YH,Wang YN. Hybrid Modeling of SiH4/Ar Discharge in a Pulse Modulated RF Capacitively Coupled Plasma[C]. 见:68th Gaseous Electronics Conference. |
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