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Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/04/17
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/05/10
Effects of Al2O3 on Thermal Stability and Electrical Reliability of HfO2 Film on Strained SiGe 期刊论文
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2011, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 1344-1347
Xu, DP; Wan, L; （程新红）; He, DW; Song, ZR; Yu, YH; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/04/10
Effects of Al2O3 on Thermal Stability and Electrical Reliability of HfO2 Film on Strained SiGe 期刊论文
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2011, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 1344-1347
Xu, DP; Wan, L; Cheng, XH（重点实验室）; He, DW; Song, ZR; Yu, YH（重点实验室）; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/05/10
The properties of high-k gate dielectric films deposited on HRSOI 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 12, 页码: 2404-2407
Cheng, XH; Xu, DP; Song, ZR; He, DW; Yu, YH; Zhao, QT; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/24
Characterization of gadolinium oxide film by pulse laser deposition 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 256, 期号: 3, 页码: 921-923
Cheng, XH; Xu, DP; Song, ZR; He, DW; Yu, YH; Zhao, QT; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/24
SILICON  PR2O3  GD2O3  
The properties of high-k gate dielectric films deposited on HRSOI 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 12, 页码: 2404-2407
Cheng, XH（重点实验室）; Xu, DP; Song, ZR; He, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhao, QT; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/05/10
Characterization of gadolinium oxide film by pulse laser deposition 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 256, 期号: 3, 页码: 921-923
Cheng, XH（重点实验室）; Xu, DP; Song, ZR（重点实验室）; He, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhao, QT; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2013/05/10
Characterization of nano-sized Si islands in buried oxide layer of SIMOX by Conducting AFM 期刊论文
CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 376, 期号: 5-6, 页码: 748-752
Chen, KW; Yu, YH; Luo, EZ; Xie, Z; Xu, JB; Wilson, IH; Bishop, WY; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24
A FED prototype using patterned DLC thin films as the cathode 期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2002, 卷号: 16, 期号: 6-7, 页码: 993-997
Li,W; Feng,T; Mao,DS; Wang,X; Liu,XH; Zou,SC; Zhu,YK; Li,Q; Xu,JF; Jin,S; Zheng,JS
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