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科研机构
上海微系统与信息技术... [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2001 [2]
2000 [6]
1985 [1]
学科主题
Materials ... [5]
Applied [3]
Applied; P... [2]
Coatings &... [2]
Condensed ... [2]
Instrument... [2]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Non-Rutherford backscattering studies of SiC/SIMOX structures
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2001, 卷号: 184, 期号: 1-4, 页码: 178-182
Chen,KW
;
Yu,YH
;
Lei,YM
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
;
Chen,LZ
;
Ren,CX
;
Zou,SC
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
H FILMS
Structural and optical properties of SiC films deposited on Si by DG magnetron sputtering
期刊论文
SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS, ECSCRM2000, 2001, 卷号: 353-356, 期号: 0, 页码: 191-194
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Lin,L
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Zou,SC
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
ALLOYS
Compositional and structural studies of DC magnetron sputtered SiC films on Si(111)
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2000, 卷号: 365, 期号: 1, 页码: 53-57
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Chen,DH
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
GROWTH
DEVICES
Investigation and modeling of the infrared optical properties of direct current sputtered SiC films on silicon
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 88, 期号: 5, 页码: 3053-3058
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Wong,SP
;
Chen,DH
;
Wilson,IH
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2012/03/24
3C-SIC FILMS
THIN-FILMS
GROWTH
CARBON
PRESSURE
Auger electron spectroscopy study of SiC thin films deposited on silicon
期刊论文
VACUUM, 2000, 卷号: 58, 期号: 4, 页码: 602-608
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
GROWTH
AlN thin films prepared by reactive ion beam coating
期刊论文
FUNDAMENTAL MECHANISMS OF LOW-ENERGY-BEAM-MODIFIED SURFACE GROWTH AND PROCESSING, 2000, 卷号: 585, 期号: 0, 页码: 251-256
Cheng,LL
;
Yu,YH
;
Sundaravel,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Lei,YM
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
DEPOSITION
GROWTH
Compositional and morphological study of reactive ion beam deposited AlN thin films
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 页码: 94-97
Cheng, LL
;
Yu, YH
;
Sundaravel, B
;
Luo, EZ
;
Lin, S
;
Lei, YM
;
Ren, CX
;
Cheung, WY
;
Wong, SP
;
Xu, JB
;
Wilson, IH
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
GROWTH
AIN
IR studies of reactive DC magnetron sputtered SiC films on silicon using effective medium theory
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2000, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 215-219
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Wong,SP
;
Chen,DH
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2012/03/24
CARBON
GROWTH
A REACTIVE ION-BEAM ETCHING AND COATING SYSTEM
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1985, 卷号: 6, 期号: 1-3, 页码: 447-451
ZHANG, YC
;
WU, YM
;
REN, CX
;
FU, XD
;
CHEN, GM
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提交时间:2011/12/17
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