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| Ion-Implanted TiN Metal Gate With Dual Band-Edge Work Function and Excellent Reliability for Advanced CMOS Device Applications 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2015
作者: Zhu HL(朱慧珑) ; Liang QQ(梁擎擎); Liu JB(刘金彪); Li JF(李俊峰); Xiang JJ(项金娟)
  收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Investigation of TiAlC by Atomic Layer Deposition as N Type 期刊论文
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2015
作者: Cui HS(崔虎山); Xiang JJ(项金娟); Li TT(李亭亭); Zhang YB(张严波); Wang XL(王晓磊)
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| A straightforward and CMOS-compatible nanofabrication technique of periodic SiO2 nanohole arrays 期刊论文
Nanotechnology, 2015
作者: Wei YY(韦亚一); Meng LK(孟令款); He XB(贺晓彬); Gao JF(高建峰); Li JJ(李俊杰)
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| CMOS-Compatible Top-Down Fabrication of Periodic SiO2 Nanostructures using a Single Mask 期刊论文
Nanoscale Research Letters, 2015
作者: Yan J(闫江); Meng LK(孟令款); Gao JF(高建峰); He XB(贺晓彬); Li JJ(李俊杰)
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Impact of pattern dependency of SiGe layers grown selectively in source/drain on the performance of 22nm node pMOSFETs 期刊论文
Solid-State Electronics, 2015
作者: Li JF(李俊峰); Wang GL(王桂磊); Xu YF(徐烨峰); Luo J(罗军); Guo YL(郭奕栾)
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Atomic Layer Deposited TiAlC Film as Metal Gate for 22 nm Node CMOS Technology and Beyond 期刊论文
ALD 2015, 2015
作者: Xiang JJ(项金娟); Zhang YB(张严波); Gao JF(高建峰); Li TT(李亭亭); Yin HX(殷华湘)
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Investigation of TaN as the wet etch stop layer for HKMG-last integration in the 22 nm and beyond nodes CMOS technology 期刊论文
Vacuum, 2015
作者: Cui HS(崔虎山); Luo J(罗军); Xu J(许静); Gao JF(高建峰); Xiang JJ(项金娟)
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Improved Short Channel Effect Control in Bulk FinFETs With Vertical Implantation to Form Self-Aligned Halo and Punch-Through Stop Pocket 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2015
作者: Chen DP(陈大鹏); Ye TC(叶甜春); Zhu HL(朱慧珑); Yin HX(殷华湘); Xu M(许淼)
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Device parameter optimization for sub-20 nm node HK/MG-last bulk FinFETs 期刊论文
Journal of Semiconductors, 2015
作者: Zhao ZG(赵治国); Luo J(罗军); Yang H(杨红); Meng LK(孟令款); Hong PZ(洪培真)
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Planar Bulk MOSFETs With Self-Aligned Pocket Well to Improve Short-Channel Effects and Enhance Device Performance 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2015
作者: Zhao YY(赵玉印); He XB(贺晓彬); Gao JF(高建峰); Xu Q(徐强); Li JJ(李俊杰)
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/05/31 |
