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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2009 [4]
学科主题
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发表日期:2009
专题:上海微系统与信息技术研究所
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The properties of high-k gate dielectric films deposited on HRSOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 12, 页码: 2404-2407
Cheng, XH
;
Xu, DP
;
Song, ZR
;
He, DW
;
Yu, YH
;
Zhao, QT
;
Shen, DS
收藏
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提交时间:2012/03/24
SOI
CAPACITORS
Characterization of gadolinium oxide film by pulse laser deposition
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 256, 期号: 3, 页码: 921-923
Cheng, XH
;
Xu, DP
;
Song, ZR
;
He, DW
;
Yu, YH
;
Zhao, QT
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
SILICON
PR2O3
GD2O3
The properties of high-k gate dielectric films deposited on HRSOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 12, 页码: 2404-2407
Cheng, XH(重点实验室)
;
Xu, DP
;
Song, ZR
;
He, DW
;
Yu, YH(重点实验室)
;
Zhao, QT
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
Optics
Characterization of gadolinium oxide film by pulse laser deposition
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 256, 期号: 3, 页码: 921-923
Cheng, XH(重点实验室)
;
Xu, DP
;
Song, ZR(重点实验室)
;
He, DW
;
Yu, YH(重点实验室)
;
Zhao, QT
;
Shen, DS
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2013/05/10
Chemistry
Materials Science
Physics
Physics
Physical
Coatings & Films
Applied
Condensed Matter
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