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科研机构
上海微系统与信息技... [29]
内容类型
期刊论文 [29]
发表日期
2009 [2]
2007 [2]
2006 [1]
2005 [4]
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共29条,第1-10条
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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70
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95
100
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Smooth Surface Morphology of Hydrogenated Amorphous Silicon Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 569-575
Yan, X
;
Feng, F
;
Zhang, J
;
Wang, YL
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
A-SI-H
THIN-FILMS
ION-BOMBARDMENT
LOW-TEMPERATURE
SILANE PLASMA
GROWTH
PECVD
DIFFUSION
ROUGHNESS
FREQUENCY
Research and Application of Microfluidics in Protein Crystallization
期刊论文
PROGRESS IN CHEMISTRY, 2009, 卷号: 21, 期号: 5, 页码: 1034-1039
Li, JJ
;
Chen, Q
;
Li, G
;
Zhao, JL
;
Zhu, ZQ
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2011/12/17
CRYSTAL-GROWTH
MICROGRAVITY
PROTEOMICS
DIFFUSION
GENOMICS
Correlation of spontaneous emission in a one-dimensional random medium with Anderson localization
期刊论文
PHYSICAL REVIEW B, 2007, 卷号: 75, 期号: 20, 页码: 205111-205111
Yao, PJ
;
Zhou, CH
;
Shi, LN
;
Jiang, XY
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
MULTIPLE-SCATTERING
ACOUSTIC LOCALIZATION
WAVES
FLUCTUATIONS
DIFFUSION
WATER
A comprehensive study of reducing the STI mechanical stress effect on channel-width-dependent I-dsat
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2007, 卷号: 22, 期号: 12, 页码: 1292-1297
Li, R
;
Yu, LJ
;
Xin, HW
;
Dong, YM
;
Tao, K
;
Wang, CD
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
DIFFUSION
MOSFETS
Electromigration in Al interconnects and the challenges in ultra-deep submicron technology
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2006, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 5424-5434
Zhang, WJ(张文杰)
;
Yi, WB(易万兵)
;
Wu, J(吴瑾)
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
TRANSPORT MECHANISMS
DUAL-DAMASCENE
ALUMINUM FILMS
TEXTURE
GROWTH
GRAIN
TI
RELIABILITY
UNDERLAYER
The oxygen in- and out-diffusion behavior in melt-textured YBCO measured by thermogravimetry
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3380-3385
Zhang, YL
;
Xin, Y
;
Hong, Z
;
Jin, YP
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL DIFFUSION
SINGLE-CRYSTAL
RESISTANCE RELAXATION
TRACER DIFFUSION
YBA2CU3O7-DELTA
BA2YCU3O7-DELTA
SUPERCONDUCTOR
TRANSPORT
INTERCALATION
YBA2CU3O6+X
Interfacial characteristics of fully depleted SiGe-on-insulator (SGOI) substrate fabricated by modified Ge condensation
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: L31-L35
Di, ZF
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Luo, SH
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Lin, Q
;
Chu, PK
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
ELECTRON-MOBILITY ENHANCEMENT
STRAINED-SI
DIFFUSION
OXIDATION
GERMANIUM
SILICON
ALLOYS
Exploration of a new wafer-level hermetic sealing method by Cu/Sn isothermal solidification technique for MEMS/NEMS devices
期刊论文
Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems II, 2005, 卷号: 5650, 页码: 332-336
Du, MH
;
Xu, W
;
Luo, L
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
AU-IN
CU-SN
INTERDIFFUSION
SYSTEMS
COPPER
TIN
Effect of ion-induced defects and oxygen concentration in annealing atmosphere on formation of buried oxide layer in SIMOX materials
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 305-309
Chen, J
;
Wang, X
;
Jin, B
;
Zhang, E
;
Sun, J
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/24
IMPLANTED SILICON
ISOTOPIC EXCHANGE
ON-INSULATOR
SI
TEMPERATURE
DIFFUSION
The density of states in liquid RbCl
期刊论文
ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA, 2004, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 494-497
He, XH
;
Tang, ZQ
;
Cheng, ZN
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
NORMAL-MODE ANALYSIS
SIMULATION
DIFFUSION
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