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科研机构
厦门大学 [3]
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学位论文 [3]
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2008 [2]
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微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究
学位论文
2008, 2001
孙建军
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
微系统
电化学微加工
约束刻蚀剂层技术
Microsystem
Microelectromechanical System
MEMS
Electrochemical Micromachining
Confined Etchant Layer Technique
CELT
用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用
学位论文
2008, 2008
张力
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2016/02/14
约束刻蚀剂层技术
电化学湿印章技术
半导体
金属
微光学元件
细胞阵列
Confined Etchant Layer Technique
Electrochemical wet-stamping method
semiconductor
microlens array
cell patterning
约束刻蚀剂层技术用于Ni-Ti合金、熔融石英和ZnO纳米线阵列的三维微加工的研究
学位论文
2007, 2007
马信洲
收藏
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浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2016/02/14
Ni-Ti合金
熔融石英
ZnO纳米线
约束刻蚀剂层技术
电化学微加工
Ni-Ti alloy
fused quartz
ZnO nanowires
Confined Etchant Layer Technique(CELT)
electrochemical micromachining
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