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科研机构
厦门大学 [9]
内容类型
学位论文 [9]
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2016 [1]
2014 [1]
2008 [2]
2007 [2]
2003 [1]
2001 [1]
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基于约束化学刻蚀的新型电化学微加工方法及其应用
学位论文
2016, 2015
张杰
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/06/20
约束刻蚀剂层技术
屈曲
电化学屈曲微加工技术
复杂三维多级结构
纳米压印
金属腐蚀刻蚀
电化学纳米压印技术
Confined etchant layer technique
Buckling
Electrochemical buckling microfabrication
Complex 3D hierarchical structures
Nanoimprint lithography
Metal assisted chemical etching
Electrochemical nanoimprint lithography
基于二氧化钛纳米管阵列的光诱导约束刻蚀体系初探
学位论文
2014, 2013
方秋艳
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2016/01/14
光诱导约束刻蚀体系
羟基自由基
二氧化钛纳米管阵列
平坦化
光催化沉积
photoinduced confined chemical etching system
hydroxyl radical
TiO2 Nanotube Arrays
planarization
photodeposition
微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究
学位论文
2008, 2001
孙建军
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
微系统
电化学微加工
约束刻蚀剂层技术
Microsystem
Microelectromechanical System
MEMS
Electrochemical Micromachining
Confined Etchant Layer Technique
CELT
约束刻蚀剂层技术研究
学位论文
2008, 1998
祖延兵
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
微加工
约束刻蚀剂层技术
分辨率
半导体
Micro-fabrication
Confined etchant layer technique
resolution
semiconductor
约束刻蚀剂层技术用于Ni-Ti合金、熔融石英和ZnO纳米线阵列的三维微加工的研究
学位论文
2007, 2007
马信洲
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/02/14
Ni-Ti合金
熔融石英
ZnO纳米线
约束刻蚀剂层技术
电化学微加工
Ni-Ti alloy
fused quartz
ZnO nanowires
Confined Etchant Layer Technique(CELT)
electrochemical micromachining
约束刻蚀剂层技术(CELT)用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究
学位论文
2007, 2007
蒋利民
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
约束刻蚀剂层技术
微纳米结构
三维微加工
微机电系统
金属
Confined etchant layer technique
micro or nanostructure
3D micromachining
MEMS
metal
约束刻蚀剂层技术(CELT)用于Ni 、Cu和Si表面三维微图形复制加工研究
学位论文
2003, 2003
刘柱方
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
微系统技术
微加工
约束刻蚀剂层技术(CELT)
Ni
Cu
Si
Microsystem
Microfabricaton
Confined Etchant Layer Technique(CELT)
Nickel
Copper
Silicon
约束刻蚀剂层技术用于砷化嫁三维规整细微图形的复制加工
学位论文
2001, 2001
黄海苟
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
微系统
约束刻蚀剂层技术
三维微加工
电化学
Microsystem or Microelectromechanical Systems (MEMS)
Confined Etchant Layer Technique (CELT)
Three-dimensional Microfabrication
Electrochemistry
三维超微图形复制的约束刻蚀化学系统研究
学位论文
1995, 1995
苏连永
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
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