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Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2021/05/06
Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2020/11/15
Computer simulation
Electrodes
Gases
Heat transfer
Ions
Manufacture
Mass transfer
Pressure distribution
Reactive ion etching
Surface waves
Commercial software
Distribution profiles
Electrode surfaces
Etching uniformity
Fluent(Ansys)
Gas flow distribution
Heat transfer model
Plasma distribution
Gas Flow Simulation Research on Reaction Chamber of Reactive ion etching
会议论文
Chengdu, PEOPLES R CHINAChengdu, PEOPLES R CHINA, JUN 26-29, 2018JUN 26-29, 2018
作者:
Zhang Jingwen
;
Fan Bin
;
Li Zhiwei
;
Liu Xin
;
Li Bincheng
收藏
  |  
浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2019/08/23
reactive ion etching
Fluent(Ansys)
numerical simulation
pressure distribution
Gas Flow Simulation Research on Reaction Chamber of Reactive ion etching
会议论文
作者:
Zhang Jingwen
;
Fan Bin
;
Li Zhiwei
;
Liu Xin
;
Li Bincheng
收藏
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浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2019/11/15
reactive ion etching
Fluent(Ansys)
numerical simulation
pressure distribution
Super resolution nano-information recording in a new hydrazone metal complex material
会议论文
作者:
Zhang, Kui
;
Wei, Jingsong
;
Chen, Zhimin
;
Wei, Tao
;
Geng, Yongyou
收藏
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浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2017/12/25
Silicon-mold-based fabrication method for manufacturing polyimide membrane with nano-protuberance array structure
会议论文
Chongqing, China, July 18, 2016 - July 22, 2016
作者:
Yang, Zheng
;
Wu, Peng
;
Rao, Xianhua
;
Yin, Shaoyun
;
Du, Chunlei
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/03/16
Catalyst-Free CVD Synthesis of ZnO Nanowire Networks on SiO2 Substrate and Its Photoresponse
会议论文
Chongqing, PEOPLES R CHINA, JUL 18-22, 2016
作者:
Xu, Liping
;
Lu, Wenqiang
;
Zhan, Zhaoyao
;
Cui, Hongliang
;
Weng, Zhankun
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/03/15
Catalyst-free CVD synthesis of ZnO nanowire networks on SiO2substrate and its photoresponse
会议论文
Chongqing, China, July 18, 2016 - July 22, 2016
作者:
Xu, Liping
;
Lu, Wenqiang
;
Zhan, Zhaoyao
;
Cui, Hongliang
;
Weng, Zhankun
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/03/16
Al互连线和Cu互连线的EBSD分析
会议论文
刘志民
;
罗俊锋
;
王俊忠
;
张隐奇
;
吉元
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/06/16
互连线:7743,电子背散射衍射:2809,晶粒结构:2367,金属化系统:2333,微电子器件:2063,反应离子:1962,晶粒取向:1872,热生长:1862,刻蚀工艺:1819,显微结构:1643
一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究
会议论文
第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
阮勇
;
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;
RUAN Yong
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;
LIU Li-tian
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