×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
清华大学 [2]
电子学研究所 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
华南理工大学 [1]
武汉大学 [1]
半导体研究所 [1]
更多...
内容类型
会议论文 [8]
发表日期
2013 [1]
2011 [2]
2010 [2]
2007 [1]
2003 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共8条,第1-8条
帮助
限定条件
内容类型:会议论文
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Deposition of CrSiN/AlTiSiN nano-multilayer coatings by multi-arc ion plating using gas source silicon
会议论文
作者:
Yan, Shaojian
;
Fu, Tongcheng
;
Wang, Ruyi
;
Tian, Canxin
;
Wang, Zesong
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2019/12/05
CrAlTiSiN
Cathodic arc deposition
Nano-multilayers
Nano-multilayers-spheres Based Micro Immunosensor For Hemoglobin A1c Level
会议论文
5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, 澳大利亚, 2010-07-06
薛茜男
;
边超
;
张虹
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2011/06/03
Micro potentiometric immunosensor for percent hemoglobin-A1c based on nano-multilayers-spheres array
会议论文
20th Anniversary World Congress on Biosensors, 英国, 2010-05-26
薛茜男
;
边超
;
张虹
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2011/06/03
应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究
会议论文
中国真空学会2006年学术年会论文集, 中国真空学会2006年学术年会, 中国陕西西安, CNKI, 中国真空学会
文胜平
;
宗瑞磊
;
曾飞
;
潘峰
;
Wen Shengping
;
Zong Ruilei
;
Zeng Fei
;
Pan Feng
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
Ion sulphuration - an effective surface engineering technique for reducing friction and wear of rubbing-pairs
会议论文
Transactions of the Nonferrous Metals Society of China, 4th International Conference on Surface Engineering, Shenzhen, China, INSPEC
Liu Jia-Jun
;
Wang Hai-Dou
;
Zhang Ning
;
Zhang Da-Ming
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
Development of an experimental EUVL system (EI CONFERENCE)
会议论文
3rd International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies, AOMATT 2007: Design, Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices and Systems, July 8, 2007 - July 12, 2007, Chengdu, China
Jin C.-S.
;
Wang L.-P.
;
Zhang L.-C.
;
Lin Q.
;
Pei S.
;
Cao J.-L.
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2013/03/25
An experimental EUVL system has been developed to investigate EUV imaging system design
component fabrication
assembly technique and experimental process. The system includes a laser produced plasma (LPP) source
an ellipsoidal condenser
a transmission mask
a reduced projection optics
and vacuum system. We designed a 10:1 reduction projection optics using Schwarzschild system with spherical mirrors to achieve 0.1m resolution. The Schwarzschild optics coated with Mo/Si multilayers was assembled with wavefront error (WFE) of 0.014 waves RMS at 632.8nm wavelength under computer-aided alignment method. Using this system a fine pattern of less than 0.25m covering a 0.1mm diameter image field of view was clearly replicated on resist-coated wafer.
Nano-layer structure of silicon-on-insulator materials
会议论文
11th seoul international symposium on the physics of semiconductors and applications, seoul, south korea, aug 20-23, 2002
Wang X
;
Chen M
;
Chen J
;
Wang X
;
Dong YN
;
Liu XH
;
He P
;
Tian LL
;
Liu ZL
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2010/11/15
SOI
nanostructure
microelectronic materials
Diffusion bonding of Cu-Cu with Al-Ni nano multilayers (EI收录)
会议论文
Materials Transactions
作者:
Zhang, Y.P.[1]
;
Yang, Y.Q.[1,2]
;
Yi, J.L.[1]
;
Hu, H.C.[1]
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2019/04/15
Aluminum
Joining
Nickel
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace