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	应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究
	文胜平 ; 宗瑞磊 ; 曾飞 ; 潘峰 ; Wen Shengping ; Zong Ruilei ; Zeng Fei ; Pan Feng
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	中国真空学会2006年学术年会论文集 ; 中国真空学会2006年学术年会 ; 中国陕西西安 ; CNKI ; 中国真空学会
关键词	多层膜 应变速率 塑性变形 纳米压入 Multilayer Strain rate Plastic deformation Nanoindentation O484.5
其他题名	Influence of Strain Rate on Hardness and Plastic Deformation Instability of Ag/Co Multilayers
中文摘要	周期结构对多层膜硬度和弹性模量的影响已有比较深入的研究,而对多层膜塑性变形特征和机理的研究还少有报道。本文采用直流磁控溅射制备了周期Λ为10nm,20nm,40nm,60nm 的 Ag/Co 多层膜,X 射线衍射表明薄膜均为 Ag(111) 和 Co(002)织构的多晶结构,且具有很好的周期性。采用纳米压入连续刚度法在四种加载应变速率(0．025 s~(-1),0．05 s~(-1),0．1 s~(-1),0．5 s~(-1))下分别测试了不同周期薄膜的硬度,结果表明硬度随应变速率的变大而增大,且随周期的变大硬度变化随应变速率的变化更加敏感。纳米压入的载荷-位移曲线出现明显的不连续突变,压痕形貌周围有明显的剪切带,表明塑性变形的过程是不稳定的。; Ag/Co muIti-layers,with periodicities of 10 nm,20 nm,40 nm and 60 nm,were grown by dc magnetron sputtering.The me- chanical properties and microstructures of the multi-layers were characterized with X-ray diffraction,scanning electron microscopy(SEM),nano- indentation with continuous stiffness measurement.The multi-layers were found to have well compositional modulated structures with Ag(111) and Co(002) texture.The results show that the strain rate considerably affects the mechanical properties of the multilayers.For example,as the strain rate increases,the hardness increases.Moreover,at a larger periodicity,dependence of hardness on the strain rate becomes increasingly sensitive.The shear bands around the indent of the SEM micrographs and the pop-in in the load-displacement curves show that the plastic defor- marion is rather unstable.; 国家自然科学基金(No．10405013,50325105和50371040)
会议录出版者	《真空科学与技术学报》杂志社
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/66442]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	文胜平,宗瑞磊,曾飞,等. 应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究[C]. 见:中国真空学会2006年学术年会论文集, 中国真空学会2006年学术年会, 中国陕西西安, CNKI, 中国真空学会.

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