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科研机构
上海微系统与信息技... [22]
内容类型
期刊论文 [22]
发表日期
2010 [1]
2007 [1]
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2004 [3]
2003 [2]
2002 [2]
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学科主题
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学科主题:Materials Science
内容类型:期刊论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Preparation of Silica Abrasives from Water Glass and Application in Silicon Wafer Polishing
期刊论文
POWDER TECHNOLOGY AND APPLICATION II, 2010, 卷号: 92, 页码: 183-187
Hu, XK
;
song, zt(重点实验室)
;
Wang, HB
;
Liu, WL
;
Qin, F
;
Zhang, ZF
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2013/05/10
Materials Science
Materials Science
Multidisciplinary
Coatings & Films
Stress reduction in GaN films on (111) silicon-on-insulator substrate grown by metal-organic chemical vapor deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2007, 卷号: 61, 期号: 22, 页码: 4416-4419
Sun,JY
;
Chen,J
;
Wang,X
;
Wang,JF
;
Liu,W
;
Zhu,JJ
;
Yang,H杨辉
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
ART.
HETEROEPITAXY
EVOLUTION
SI(111)
LAYERS
Hydrogen annealing effects on epitaxy of SOI wafer
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2005, 卷号: 59, 期号: 2-3, 页码: 361-365
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Wang,YJ
;
Xiao,HB
;
Feng,Z
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
SILICON-ON-INSULATOR
SIMOX
Simulation and characterization on properties of AlN films for SOI application
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2004, 卷号: 459, 期号: 1-2, 页码: 41-47
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
DEPOSITION
MOSFETS
SILICON
GROWTH
Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application
期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2004, 卷号: 333, 期号: 3, 页码: 296-300
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
WAVE-GUIDE
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
A study of silicon oxynitride film prepared by ion beam assisted deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2004, 卷号: 58, 期号: 17-18, 页码: 2261-2265
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
WAVE-GUIDE
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
Low temperature PECVD SiNx films applied in OLED packaging
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2003, 卷号: 98, 期号: 3, 页码: 248-254
Huang,WD
;
Wang,XH
;
Sheng,M
;
Xu,LQ
;
Stubhan,F
;
Luo,L
;
Feng,T
;
Wang,X
;
Zhang,FM
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
LIGHT-EMITTING DEVICES
DEPOSITED SILICON-NITRIDE
ELECTROLUMINESCENT DEVICES
N FILMS
DIODES
DEGRADATION
PASSIVATION
LAYERS
GROWTH
Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2003, 卷号: 57, 期号: 30, 页码: 4643-4647
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Shen,DS
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
SILICON
GROWTH
Electrical characterization of SIMOX SOI wafers with MOSOS C-V measurements
期刊论文
SILICON MATERIALS-PROCESSING, CHARACTERIZATION AND RELIABILITY, 2002, 卷号: 716, 期号: 0, 页码: 227-231
Li,CL
;
Yu,YH
;
Chen,M
;
Zou,SC
;
X,S
;
Lin,ZX
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/24
Fabrication of device-grade separation-by-implantation-of-oxygen materials by optimizing dose-energy match
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, 2002, 卷号: 17, 期号: 7, 页码: 1634-1643
Chen,M
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Wang,X
;
Chen,J
;
Liu,XH
;
Dong,YM
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE
ION-IMPLANTATION
SIMOX
SILICON
LAYERS
TEMPERATURE
WAFERS
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