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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A Si-Glass based pressure sensor with a single piezoresistive element for harsh environment applications 其他 2013-01-01 Zhang, H; Xu, Huiming; Li, Yan; Song, Zij; San, Haisheng; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 MEMS  Pressure sensors  Silicon   Fabrication of silicon piezoresistive pressure sensor using a reliable wet etching process 其他 2013-01-01 Xu, Huiming; Zhang, H; Deng, Zhiqia; San, Haishen; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/07/22 Fabrication  Fixtures (tooling)  Pressure sensors  Silicon  Silicon wafers  Wet etching   MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究 学位论文 2013, 2013 陶也 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/01/13 微机电系统  压力传感器  硅  MEMS  pressure sensors  silicon   Research and analysis of a laser-type high temperature pressure sensor based on SiC diaphragm 其他 2012-01-01 Hu, Yanqing; Hu, Guoqing; Yi, Shaoxiang; Zhang, Jianwei; 胡国清 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 Aerospace engineering  Chemical analysis  Chemical properties  Deflection (structures)  Diaphragms  Finite element method  High pressure engineering  High temperature applications  Laser theory  Mathematical models  Mechanical properties  Partial pressure sensors  Pressure  Pressure sensors  Silicon carbide  Thermoelasticity  Triangulation   Impact of the silicon layer thickness to the optical property of sandwich photonic crystal structure 其他 2011-01-01 Li, Fangqiang; Li, Changzheng; San, Haisheng; Chen, Xuyu; 伞海生; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22 Electromagnetic wave polarization  Experiments  Light transmission  Optical properties  Photonic crystals  Plasmons  Semiconducting silicon compounds  Sensors  Silicon wafers  Surface plasmon resonance  Thickness measurement