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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    发表日期：2017     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fluid simulation of the pulsed bias effect on inductively coupled nitrogen discharges for low-voltage plasma immersion ion implantation 期刊论文 CHINESE PHYSICS B, 2017, 卷号: 26 作者:  Sun, Xiao-Yan;  Zhang, Yu-Ru;  Li, Xue-Chun;  Wang, You-Nian 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/02 fluid simulation  low-voltage plasma immersion ion implantation  N-2 inductive discharge