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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：Multidisciplinary     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of device-grade separation-by-implantation-of-oxygen materials by optimizing dose-energy match 期刊论文 JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, 2002, 卷号: 17, 期号: 7, 页码: 1634-1643 Chen,M; Yu,YH; Wang,X; Wang,X; Chen,J; Liu,XH; Dong,YM 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/24 BURIED OXIDE  ION-IMPLANTATION  SIMOX  SILICON  LAYERS  TEMPERATURE  WAFERS   A study of optical characteristics of damage in oxygen-implanted 6H-SiC 期刊论文 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 1999, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 979-982 Wang,LW; Huang,JP; Lin,CL; Zou,SC; Zheng,YX; Wang,XJ; Huang,DM; Zetterling,CM; Ostling,M 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/25 ENHANCED THERMAL-OXIDATION  SILICON-CARBIDE  ION-IMPLANTATION  THIN-FILMS  AMORPHIZATION  LAYERS