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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2007     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Design of high-sensitivity cantilever and its monolithic integration with CMOS circuits 期刊论文 ieee sensors journal, 2007 Yu, Xiaomei; Tang, Yaquan; Zhang, Haitao; Li, Ting; Wang, Wei 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 cantilever  monolithic integration  post-CMOS process  silicon-on-insulator (SOI) CMOS  PIEZORESISTIVE CANTILEVERS  OPTIMIZATION  READOUT  SENSORS  ARRAY   A micro diffuser/nozzle pump with fins on the sidewall 会议论文 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07, Lyon, France, June 10, 2007 - June 14, 2007 作者:  Li XH;  Yu XM;  Zhang DC;  Li ZH;  Xu WH 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/06/01 Diffuser/nozzle  Diffuser/nozzle pump  Fins  Flow efficiency  International conferences  Key parts  Novel methods  Pump performance  Silicon micro-machining  Solid-state sensors