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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1999 [2]
学科主题
Materials ... [2]
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学科主题:Materials Science, Multidisciplinary
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Effect of annealing on SiC thin films prepared by pulsed laser deposition
期刊论文
DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 1999, 卷号: 8, 期号: 12, 页码: 2099-2102
Huang, JP
;
Wang, LW
;
Wen, J
;
Wang, YX
;
Lin, CL
;
Ostling, M
收藏
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
CUBIC SILICON-CARBIDE
EPITAXIAL-GROWTH
TEMPERATURE
ABLATION
DEVICES
Growth of SiC thin films on (100) and (111) silicon by pulsed laser deposition combined with a vacuum annealing process
期刊论文
WIDE-BANDGAP SEMICONDUCTORS FOR HIGH-POWER, HIGH-FREQUENCY AND HIGH-TEMPERATURE APPLICATIONS-1999, 1999, 卷号: 572, 页码: 207-212
Huang, JP
;
Wang, LW
;
Wen, U
;
Wang, YX
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
CARBIDE
TEMPERATURE
DEVICES
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