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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2004 [1]
学科主题
Applied; P... [2]
Chemistry [2]
Coatings &... [2]
Condensed ... [2]
Physical; ... [2]
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学科主题:Chemistry
学科主题:Condensed Matter
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Preparation of monodisperse polystyrene/silica core-shell nano-composite abrasive with controllable size and its chemical mechanical polishing performance on copper
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, 卷号: 258, 期号: 3, 页码: 1217-1224
Zhang,L
;
Wang,HB
;
Zhang,ZF
;
Qin,F
;
Liu,WL
;
Song,ZT
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提交时间:2012/04/10
ELSEVIER SCIENCE BV
Study of HfO2 thin films prepared by electron beam evaporation
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2004, 卷号: 228, 期号: 1-4, 页码: 93-99
Wang,YJ
;
Lin,ZL
;
Cheng,XL
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
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  |  
浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
ION-ASSISTED DEPOSITION
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